Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Hemsida
Om oss
MH Utrustning
Lösning
Användare Utomlands
Video
Kontakta oss
Hem> Semicon Inspect
  • Hög- och lågtemperatur vakuumwaferprober
  • Hög- och lågtemperatur vakuumwaferprober

Hög- och lågtemperatur vakuumwaferprober

Produktintroduktion

MDSM-VP-CG-seriens provstation kan utföra IV/CV-karakteristiska tester, RF-tester, fotoelektriska tester, elektromagnetiska transportegenskaper samt Hall-effekttester för enhets- och materialkarakterisering i miljöer med ultrahög vakuum och höga samt låga temperaturer.

Genom att konfigurera komponenter såsom vakuumkammare och strålskyddsskärm kan integrerade högtemperatur-, lågtemperatur- och vakuumtestvillkor effektivt uppfylla och tillhandahålla en stabil testmiljö för halvledardevice.

Produktegenskaper

1. Kan stödja temperatur från 4,2 K till 473 K

2. Strålskyddsskärmsdesign för att förbättra provets temperaturjämnhet och noggrannhet

3. Värmesänksdesign för proben för att säkerställa exakt nedkylning av proben

4. Uppgraderbar magnetfältskonfiguration

5. Flexibel och skalbar testapplikationskonfiguration

6. Automatisk kontroll av kylmedelsflöde, automatisk exakt temperaturreglering

Produktparametrar

Modell

MDSM-VP-CG-O-2

MDSM-VP-CG-O-4

MDSM-VP-CG-C-2

Chuck

Storlek

2 tum

4tum

2 tum

Provfixeringsmetod

Vakuumvärmeledningssmet/fjädertryck

Vakuumgrad

10^-10 torr maximalt vakuum

Optisk

egenskaper

Mikroskopets rörelseområde

R-axel 360 ° + rörlig axel 100 mm

Gain

Zoom: 7:1, upplösning 4 μm (förstoring 216X) eller metallografiskt mikroskop (20X~1000X)

Dimensioner av

observationsfönster

2 tum

4tum

2 tum

Temperatur

kontroll

specifikationer

CCD-pixel

50W (simulering)/200 W (digital)/500 W (digital)

Kylmetod

Flytande kväve/flytande helium

Kylkompressorer

Styrningsmetod

Öppen krets manuell/automatisk reglering av köldmedelsflöde

Stängd krets automatisk reglering

Räckvidd

77 K~473 K/4,2 K~473 K

7,3 K~473 K

Upplösning

0,001 K

Stabilitet

4,2 K ±0,2 K 77 K±0,1 K 373 K±0,08 K 473 K±0,1 K

Sonspecifikation

Sondnummer

Antalet olika prov kan expanderas upp till 6

Provregelegling

Extern justering av vakuumvägjärt, manuell kontroll

Punkt noggrannhet

2μm

Läckström

1pA/V @25 ℃,100fA/V @25℃

Anslutartyp

Triaxial/SMA/K/Fibergränssnitt

Förfrågan

Förfrågan Email WhatsApp WeChat
Toppen
×

Kontakta oss