Plattens minsta tjocklek: 50 µm (tunnare kan diskuteras)
Ultratunn plattklassare MDND-120UT
Projekt |
Parametrar |
Utrustningsnamn |
MDND-120UT flerfunktionsplattlimnare |
Utrustningens modell |
MDND-120UT |
Limningsprecision/vinkel |
±20 µm, ±0,5 (kalibreringsfilm) |
Fogningsskärpa |
50~2000 gf |
CPH |
1000 (50 ms process tid, slutgiltig effektivitet beror på process och processtid) |
Chippstorlek |
0,5~15 mm |
Dammskyddsnivå |
Klass 1000 |
Kompatibel substrat/fack |
MAX: 300*200 mm |
Kompatibel hjälpmedelsfixtur |
Expanderingsringar: 4"/6" * 3 st, 8"*1 st |
Utrustningsstorlek |
Wafer ring: 4"/6"/8"/12" * 1 st |
Vikt |
1610 x 1420 x 1700 mm |
Produktintroduktion:
Teknologikärna :