Materialätchning Deposition Reaktion Jonätchningsmaskin RIE , China Materialätchning Deposition Reaktion Jonätchningsmaskin RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivning

RIE Reaction Ion Etching Maskin

Forskningsapplikationerna för RIE-reactive ion etching-maskiner inom halvledartillverkning och mikro-nanobearbetning speglas huvudsakligen i bearbetningen av nanoskaliga strukturer, etsning av nya material, tillverkning av komplexa komponenter och teknologiska genombrott i gränsland mellan discipliner. Dess kärnverde ligger i att uppnå högprecision och hög selektivitet i materialborttagning genom samordnad kontroll av fysisk bombardering och kemiska reaktioner. Stödja utforskandet av halvledarteknologins frontlinje och enhetsinnovation.

Utrustningens egenskaper:

1. Hög precision och anisotropi: Den kan etsa figurer med branta sidoväggar och exakta mått.
2. God enhetlighet och reproducerbarhet: lämplig för storskalig produktion.
3. Bred materialtillämplighet: Genom att välja olika gaskombinationer kan olika material (halvledare, dielektrika, metaller m.m.) ätas upp.
4. Hög selektivitetskvot: Den kan exakt äta upp specifika material utan att orsaka betydande skador på andra material.
5. Rengöring: Torr process, undviker problem såsom rengöring och avfallsvattenbehandling som uppstår vid våtätning.

Specificitet

Systemkonfiguration:

Elektrisk uppvärmning	Kammare (Enkelhålig)
Elektrisk uppvärmning		N/A
Typ av nedre elektrod	242mm
Process temperaturintervall	-20-100°C
Plasmkälla	600W-1000W
Processmätarstorlek	100mtorr
Vakuumsystem	Molekylpumpenheter, torrpumpsystem, processkammare
Antal etsningskamrar	Enkel kavitet
Klammer	TYP	Storlek/mm	Material
Klammer		N/A	8、6、4、3、2
Slutpunktsdetektor	Alternativ
Induktivt kopplad plasma	Alternativ

Tekniska parametrar:

Graveringsmaterial	Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Etsningshastighet	>20 nm/min (SiO2-material) Hastigheterna för olika material är inte desamma
Distribuerad kontroll	>85°
Laddningsmetod	Öppen laddning
Gaskolväg styrd av MFC	Sex gaskärl är tillgängliga
Kylning på baksidan med helium	Ja
Människa-maskin-gränssnitt	Skärm med beröringsfunktion
Operativt läge	Fullautomatiskt läge, icke-fullautomatiskt läge
Val och konfiguration av automatiserade apparater	Du kan välja mellan importerade eller inhemska delar

Användningsfall

Förpackning & Leverans

Företagsprofil

Sedan 2014 är Minder-Hightech sälj- och servicepartner inom utrustning för halvledar- och elektronikproduktindustrin. Vi är engagerade i att erbjuda kunderna överlägsna, tillförlitliga och komplett lösningar för maskinutrustning. Fram till idag har våra produkter spridits till de största industrialiserade länderna i världen, vilket har hjälpt kunder att förbättra effektiviteten, minska kostnaderna och förbättra produktkvaliteten.

Vanliga frågor

1. Om pris:
Alla våra priser är konkurrenskraftiga och förhandlingsbara. Priset varierar beroende på konfigurationen och komplexiteten av anpassningen av din enhet.

2. Om provproduktion:
Vi kan erbjuda provproduktions tjänster, men du kanske måste betala vissa avgifter.

3. Om betalning:
När planen har bekräftats behöver du betala en förhandsbetalning först, och fabriken börjar då förbereda varorna. När utrustningen är klar och du har betalat restbeloppet skickar vi den.

4. Om leverans:
När tillverkningen av utrustningen är klar skickar vi dig en acceptansvideo, och du kan också komma till platsen för att inspektera utrustningen.

5. Installation och justering:
När utrustningen ankommer till din fabrik kan vi skicka ut ingenjörer för att installera och felsöka utrustningen. Vi kommer att ge dig ett separat offert för den här tjänstekostnaden.

6. Om garantin:
Vår utrustning har en garantiavtal på 12 månader. Efter garantiavtalet, om några delar skadas och behöver bytas ut, kommer vi endast att debitera kostnadspriset.

7. Efterförsäljningstjänst:
Alla maskiner har en garanti på över ett år. Våra tekniska ingenjörer är alltid online för att kunna erbjuda dig installation, felsökning och underhållsservice för din utrustning. Vi kan erbjuda service för montering och felsökning på plats för särskilda och stora anläggningar.