


Velikost peljke |
4”~ 8” peljek |
Debelina peljke |
100~750 mikronov |
Vrsta peljke |
Si, SiC, GaN ali drugi materiali |
Vrsta filme |
Modra folija, UV folija Širina: 230 ~ 300 mm Dolžina: 100 m Debelina: 0.05 ~ 0.2 mm |
Nosilna prsten za plosčice |
6”, 8” DISCO |
Način nalaganja in razlaganja |
Ročno postavljanje in odstranjevanje plosčic/prstena |
Točnost postavitve folije |
±0,5mm Običajne plošče za krogele 6” in 8” za krogele 6” in 8” |
Vakumska črpalka |
Minder-Hightech |
Antistatična nadzora |
Dejonizacijski ventil |
Kontrolna enota |
Na osnovi PLC nadzora, z dotikovim zaslonom 10” |
Varstvo pred nevarnostmi |
Opremljeno s svetlobnim zavesnim varnostnim sistemom in gumbom hitrega ustanka |
Napajalska napetost |
Enofazni AC 220V, 16A |
Stisnjen zrak |
0,45~0,6MPa, hitrost toka 70L/min |
Kozar naprave |
Beli plastkoven metalni kozar |
Prostornina |
850mm (širina)*1750mm (globina)*1970mm (višina) |
Neto teža |
480kg |


Avtorske pravice © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane