-
Lokacija zavoda za PVD CVD ALD RIE ICP
-
Lokacija zavoda RIE / Sistem reaktivnega jonsko izsekanja / Oprema za polprevodniško industrijo
-
Mikrovalovno plazmo / Rešitve za pakiranje polprevodnikov / Rešitve z uporabo plazme za polprevodniško industrijo
-
Dokaz RIE / Sistem reaktivnega jonsko izsekanja / Pločna izsekanja / Stroj za semikon industrijo
-
Rešitev za pakiranje polprevodnikov: stroj za čiščenje s mikrovalovnim plazmenskim počitkom
-
Hitro toplinsko obdelovanje za polprevodniško industrijo / RTP oprema
-
Stroj za reaktivno jonsko izrezanje / Po meri izdelana dvochamberska RIE (Cl₂)