Uvod:
Naprava za nanašanje premazov z magnetronskim razprševanjem je cenovno ugodna oprema za nanašanje premazov z magnetronskim razprševanjem, ki jo je naša podjetje neodvisno razvilo in ki se karakterizira z standardizacijo, modularnostjo in možnostjo prilagoditve. Magnetronske tarče so na voljo v premerih 1, 2 in 3 palcev; stranke lahko izbirajo glede na velikost podlage, ki naj bo prevlečena; napajalna enota je visokomoznostna enosmerna napajalna enota z močjo 500 W, ki se uporablja za visokoenergijsko kovinsko razprševanje. Glede na eksperimentalne zahteve je mogoče izbrati tudi druge specifikacije enosmernih ali RF napajalnih enot, s čimer se omogoči nanašanje premazov iz različnih materialov.
Uporabna področja:
Lahko se uporablja za pripravo enoplastnih ali večplastnih tankih feroelektričnih plasti, prevodnih plasti, zlitinskih plasti, polprevodniških plasti, keramičnih plasti, dielektričnih plasti, optičnih plasti itd.