Uvod:
Oprema za nanos prevlek s magnetronskim razprševanjem je posebna laboratorijska naprava za nanos prevlek, ki jo je razvila naša podjetja. Opremo je mogoče opremiti z enosmernim (DC) in izmeničnim (RF) napajalnikom. Moč se giblje od 500 W do 1000 W. V primerjavi s konvencionalnim plazemskim razprševanjem ima magnetronsko razprševanje prednosti, kot so visoka energija, visoka hitrost, visoka hitrost nanašanja in majhen dvig temperature vzorca. Magnetronski cilj je opremljen z vodno hlajeno medplastjo. Vodni hladilnik učinkovito odvaja toploto in preprečuje kopičenje toplote na površini cilja, kar omogoča dolgotrajno stabilno delovanje magnetronskega nanašanja prevlek. Z gosto konstrukcijo je dosežen uravnotežen razmerje med prostornino in zmogljivostjo, videz je privlačen, funkcije pa izčrpne. Celotna naprava je nadzorovana prek dotikalnega zaslona in vgrajenega programa za nanašanje prevlek z enim gumbom, kar omogoča enostavno uporabo ter jo naredi idealno opremo za pripravo tankih plasti v laboratoriju.
Uporabna področja:
Lahko se uporablja za pripravo enoplastnih ali večplastnih tankih feroelektričnih plasti, prevodnih plasti, zlitinskih plasti, polprevodniških plasti, keramičnih plasti, dielektričnih plasti, optičnih plasti itd.