





|
PLASMA vir
|
RF
|
||
|
Moč
|
ICP
|
_
|
|
|
BIAS
|
1000W (možnost)
|
||
|
Namena uporabe
|
4~8 palec
|
||
|
Število obdelanih pladenkov
|
1
|
||
|
Izgledne razmere
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
|
Kontrola sistema
|
PLC
|
||
|
Stopnja avtomatizacije
|
Navodila
|
||








Avtorske pravice © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane