Uvod:
Instrument za nanos premazov z dvociljno magnetronsko razpršitvijo je laboratorijski poseben instrument za nanos premazov z dvema položajema ciljev, ki ga je razvila naša podjetja. Oprema je opremljena z enosmernim napajalnikom in radijsko frekvenčnim napajalnikom. V primerjavi z običajno plazemsko razpršitvijo ima magnetronska razpršitev prednosti visoke energije in visoke hitrosti ter visoke hitrosti nanosa premaza; gre za tipično hitro nizkotemperaturno razpršitev. Magnetronski cilj je opremljen z vodno hlajeno medplastjo. Vodni hladilnik učinkovito odvaja toploto in preprečuje kopičenje toplote na površini cilja, kar omogoča dolgotrajno stabilno delovanje magnetronskega nanosa premazov. Vzorčna miza tega modela uporablja povratno konstrukcijo z magnetno sklopljenim potiskalnim drogom na levi strani, ki lahko vzorčno mizo potiska v levo in desno. Celotna naprava se nadzoruje prek dotikalnega zaslona z vgrajenim programom za nanos premaza z enim gumbom, kar omogoča preprosto in enostavno uporabo ter jo naredi idealno opremo za laboratorijsko pripravo tankih plasti.
Uporabna področja:
Lahko se uporablja za pripravo enoplastnih ali večplastnih tankih feroelektričnih plasti, prevodnih plasti, zlitinskih plasti, polprevodniških plasti, keramičnih plasti, dielektričnih plasti, optičnih plasti itd.