Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Pridobi ponudbo

Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Domača Stran
O Nas
Oprema MH
Rešitev
Uporabniki Iz Tuja
Video
Kontaktirajte nas
Domov> Laboratorijska oprema za polprevodnike
  • Stroj za natančno drsenje in poliranje polprevodniških materialov
  • Stroj za natančno drsenje in poliranje polprevodniških materialov
  • Stroj za natančno drsenje in poliranje polprevodniških materialov
  • Stroj za natančno drsenje in poliranje polprevodniških materialov
  • Stroj za natančno drsenje in poliranje polprevodniških materialov
  • Stroj za natančno drsenje in poliranje polprevodniških materialov
  • Stroj za natančno drsenje in poliranje polprevodniških materialov
  • Stroj za natančno drsenje in poliranje polprevodniških materialov
  • Stroj za natančno drsenje in poliranje polprevodniških materialov
  • Stroj za natančno drsenje in poliranje polprevodniških materialov

Stroj za natančno drsenje in poliranje polprevodniških materialov

Pridobite brezplačno ponudbo
Opis izdelka

Pregled naprave:

Brusilno in lustrarsko napravo MDAM-CMP100/150 je natančna brusilna in lustrarska oprema, ki zajema uporabe v polprevodniških in optoelektronskih materialih. Glavno se uporablja za brušenje in zadebelitev glavnih polprevodniških materialov, kot so kremen, kremenski dioksid in indij-antimonidne čipove za fokalne ravnine, ter za kemično-mehansko lustranje spodnje strani, površine in končnih ploskev. Celotna oprema in vsi njeni sestavni deli so popolnoma zaščiteni pred korozijo, parametri procesa pa se lahko nastavijo prek dotikalnega interaktivnega vmesnika.
Znanstveno in smiselno načrtovanje, napredne zmogljivosti, visoka raven avtomatizacije, udobna uporaba, enostavna vzdrževalna obravnava in izjemna zanesljivost; vezava vzorčne podlage, brušenje in zadebelitev, kemično-mehansko lakanje ter povezava med predhodnimi in naslednjimi procesi detekcije so smiselno izvedeni, kar zagotavlja skladnost obdelovalnih dimenzij za vsako funkcijo opreme. Z različnimi konfiguracijami strojne opreme in potrošnega materiala je mogoče doseči več različnih konfiguracij strojev in procesnih rešitev, s čimer se izpolnjujejo različne tehnične zahteve uporabnikov, kot so različne vrste materialov in njihove velikosti.

Z hitrim razvojem polprevodniške tehnologije se zahtevi po zmogljivosti in funkcionalnosti integriranih krožnic vedno povečujejo. Tehnologiji TSV (Through Silicon Via) in TGV (Through Glass Via), kot napredne pakirne in povezave, lahko učinkovito izboljšata stopnjo integracije in zmogljivost čipov. To naprava ima enoličen postopek za implementacijo tehnologije TSV/TGV.

Prednosti naprave:

* Neodvisen in premikljiv dotikovni operacijski sistem;
* Izvedba strusja in poliranja krajev čipa ter priprava posebnih kotov;
* Lahko shrani 100 procesnih menijev;
* Funkcija zaznavanja končne točke EPD;
* Izbirno se da povečati na trikanalni sistemi za podajo;
* Primeren za vzorce velikosti 6 palcev in manjše.

Funkcija naprave:

Točilna in polirna mašina MDAM-CMP100/150, glavni enotnik in vsi deli so izdelani iz materialov z visoko upornostjo pred korozijskim poškodovanjem. Celotna mašina je upornika pred korozijskim poškodovanjem, stabilna, odupna in upornika pred ržavo, primerna za kemsko-mehansko točenje in poliranje različnih polprevodniških materialov. Delovno prostor je ločen od območja za prikaz in nadzor ter se upravlja s pomočjo digitalnega sistema z dotiknim zaslonom. Je CNC upravljana, omogoča shranjevanje in ponovno branje.

Sistem naprave ima funkcijo časovanja, ki lahko deluje neprestano 10 ur in nadzira hitrost polirnega diska. Nadzorna plošča je nameščena zunaj delovne območja, da se izognemo skakanju oštrkivačke na nadzorno ploščo. Vse parametre glavnega enote je mogoče prilagajati na dotikovnem zaslonu. Procesni parametri glavne enote imajo funkcije shranjevanja in ponovnega poizvedovanja, da se zagotovi skladnost in ponovljivost procesa. Vzorec peljke je adsorbovan na spodnji ploskvi pripeva s pomočjo vakuumiranja, opremljen s vakuumskim pumpom brez olja in ima neodvisno funkcijo za spremljanje obratnega sukanja.

Vzornični konfiguracijski vzorec s horizontalnim rotacijskim gonilnim sistemom ima oscilacijsko funkcijo, pri čemer je obseg oscilacije prilagodljiv od 0-100%. Amplitudo in frekvenčno hitrost oscilacije je mogoče natančno nastaviti prek nadzorne plošče. Vzorec je opremljen z neodvisnim gonilnim sistemom za vrtenje, pri čemer je obseg hitrosti prilagodljiv od 0-120 obratov na minuto. Ta funkcionalna različica omogoča popolno oscilacijsko poliranje vzorca med procesoma šlehanja in poliranja, kar znatno poveča zmogljivost in učinkovitost naprave.

Vzorec je opremljen z digitalno pregledno mersko ploščo debeline, ki ima točnost pregledovanja 1 μm._tlak_vzorca_na_folt_je_zvezno_prilagodljiv, pri čemer je obseg tlaka od 0-3,5 kg in točnost 2 g/cm², ter je opremljen z napravo za merjenje tlaka.

Delovanje brusilnega in lakičnega diska se nadzoruje z glavnim pogonom, pri čemer je hitrost diska nastavljiva od 0 do 120 vrtljajev na minuto. Ta obseg spremembe hitrosti učinkovito zagotavlja ustrezno hitrost brušenja in lakanja vzorcev iz materialov različne trdote in velikosti, s čimer se dosežejo višji procesni kazalniki.
Zamenjava brusnih in polirnih plošč je preprosta in hitra, saj vgrajene plošče omogočajo hitro prehajanje opreme iz brušenja na poliranje, kar značilno skrajša čas procesa. Brusna plošča je opremljena z blokom za popravek plošč, da se zagotovi dobra ravnost brusne plošče.
Specificacija
Model
MDAM-CMP100
MDAM-CMP150
Velikost peljke
4 palec in manj
6 palec in manj
Premer delovnega plošča
420 mm
420 mm
Postaja
≤4
≤2
Vhodna pripada
≤3
Napajanje
220V, 10A
Časovno nastavljanje
0-10h
Temperatura okolja
20℃~35℃
Hitrost ploče
0-120rpm
Stavna hitrost
0-120rpm
Sestavni del sistema za zaklepovanje vzorcev
Zažigalnik, valčasta roka
Sestav za proces izravnave
Izravnava deska, popravilna plošča in val
Sestav za poliranje
Sistem za presnovanje polirane tekočine in polirna plošča
Detekcijski komponent
Testna osnova, merilna plošča ravnosti, testna merilna kazalca
Paketa snovi za lapanje in poliranje vafelj
Lapna praščica, poliransko rešitev, poliranska tkanina, vos, razvosovno ledeno, steklena podlaga list
Pogosto zastavljena vprašanja
1. O ceni:
Vsa naša cenovanja so konkurenčna in pogajljiva. Cena se spreminja v odvisnosti od konfiguracije in kompleksnosti prilagoditve vaše naprave.

2. O vzorcu:
Možemo vam ponuditi storitve izdelave vzorcev, a morate plačati nekatera stroškovna pristojbina.

3. O plačilu:
Po potrditvi načrta morate najprej plačati zavezo, nato bo zavod začel pripravljati izdelke. Ko bo
oprema pripravljena in plačali boste ostanek, jo bomo poslali.

4. O dostavi:
Ko bo izdelava opreme končana, vam bomo poslali video za sprejem, lahko pa tudi pridejo na lokacijo za pregled opreme.

5. Namestitev in prilagajanje:
Ko bo oprema prišla v vašo fabriko, jo lahko pošljemo inženirje za namestitev in prilagajanje opreme. Za ta strošek storitve vam bomo ponudili poseben cenik.

6. O jamstvu:
Naše opreme ima jamstvo trajajoče 12 mesecev. Po obdobju jamstva, če so katerikoli deli pokvarjeni in jih je treba zamenjati, bomo vzel le stroške proizvodnje.

Več izdelkov

Poizvedba

Avtorske pravice © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane

Politika zasebnosti

Poizvedba Email WhatsApp WeChat
Vrh
×

Stopite v stik