 
  
| Model  | MDTS-WT2200  | 
| Število osi za režnjenje  |  2 | 
| Število delovnih miz  | 3, Indeksna metoda  | 
| Osi cepnega kolesa  | Število zraknih vrtečk: 2  Motor vrtečke: 7,5kW spremenljiv motor Hitrost: 0~6000obm/min, neprekinjeno prilagodljiva Specificacija šlepkarskega kolesa: Φ203mm Vrsta šlepkarskega kolesa: diamantsko šlepkarsko kolo | 
| Sistem podajanja šlepkarskega kolesa  | Količina: 2 seta  Način upravljanja sistema za dajanje: LM rešetovina in krogla škraba kombinacija Gonski motor: servomotor Najmanjša hitrost dajanja: 0,1 μm/sec Največja hitrost dajanja: 50 mm/sec | 
| Delovna miza  | Količina: 3, indeksni način  Motor vretena: Servomotor Hitrost: 0~300 obr./min, neprekinjeno prilagodljiva Način pripenjanja: Vakuumsko pripenjanje | 
| Delovna plošča z vrtilnico  | Gonski način: servomotor  Obratna razpon: 0~240° Položaj oblike: položaj s pomočjo senzorja | 
| Samodejna debelina  merilni sistem | Način merjenja: IPG stikovno online merjenje v realnem času  Število merilnih glav: 2 Merilni senzor: senzor na ravni 0,1 μm | 
| Samodejno nalaganje/  sistem odalaganja | Vrsta kutije: 6-8inch Cassette, 25 plasti  Metoda samodejnega nalaganja/odalaganja: uporablja se manipulator ploskev, da se zagotovi brezškodno prevoz tankih ploskev Debelina waferja: 150um-1000um | 
| Funkcija čiščenja delovnega stola  | Način čiščenja: Poletanje s olivnim kamenom & DI voda + zrak dvofaznega pritoka  | 
| Samodejno čiščenje/  sušilni sistem | Čiščenje: čiščenje priključka za DIW  Način sušenja: Puščanje + sušenje Hitrost: največ 1000rpm brezstopno prilagodljiva | 
| Sistem za odpravo statične elektrike  | Ionska ploska ali orionski ventilator  | 
| Hladilnik špindla  | Temperatura: 18-22°C  Hitrost toka: 4~8L/min | 
| Nadzorni sistem  | Kontrolni sistem: PC kontrolni sistem, dotikovni zaslon, 3-barvna alarmna luč  Kitajško/angleško uporabniško vmesnik | 
| Največja velikost plošče  | Največ skupaj s 8 inči  | 
| Območje hitrosti    | 0~6000 OBR/min  | 
| Premik po Z-osi    | 160mm  | 
| Hitrost napajanja Z osi  | 0.1~100um/sec  | 
| Hitrost hitrega vračanja Z osi  | 50mm/sec  | 
| Ločljivost na osi Z  | 0.1um  | 
| Område merjenja debeline v živo  | 0~1800um  | 
| Ločljivost merjenja debeline v živo  | 0.1um  | 


Avtorske pravice © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane