Poudarek
Uvod: Ta oprema je magnetronska naprava za nanos na dve ciljni površini. Opredeljena je z dvema magnetronskima ciljnima površinama in dvema kompletoma enosmernih napajalnikov. Uporablja se za nanos večplastnih prevodnih kovinskih plasti. Hkrati se oprema sestavlja iz dveh delov: glavnega komora in prehodne komore. V prehodni komori je nameščen magnetni potiskalni drog, med obema komorama pa je nameščen vakuumski zaporni ventil. Uporabnik lahko v prehodni komori namesti vzorce in jih predvakuira, medtem ko poteka razprševanje v glavni komori. Po končanem razprševanju v glavni komori se vzorec s pomočjo magnetnega potiskalnega droga potisne na vzorčno mizo glavne komore. Ta konstrukcija zmanjša število ciklov izpraznjevanja in ponovnega napolnjevanja glavne komore z zrakom, kar ne le učinkovito prihrani čas, temveč tudi zagotavlja boljši lokalni vakuum ter učinkovito izboljša kakovost nanosa.
Uporaba: Uporablja se za pripravo enoplastnih ali večplastnih tankih feroelektričnih plastičnih filmov, prevodnih filmov, zlitinskih filmov, polprevodniških filmov, keramičnih filmov, dielektričnih filmov, optičnih filmov itd.