Uvod:
Ta oprema je magnetronski nanašalnik za dve ciljni površini. Opredeljena je z dvema magnetronskima ciljema in dvema kompletoma enosmernih napajalnikov. Uporablja se za nanašanje večplastnih prevodnih kovinskih plasti. Hkrati se oprema sestavlja iz dveh delov: glavne komore in prehodne komore. V prehodni komori je nameščen magnetni potiskalni drog, med obema komorama pa je nameščen vakuumski zaporni ventil. Uporabnik lahko v prehodni komori namesti vzorce in jih predvakuira, medtem ko poteka razprševanje v glavni komori. Po končanem razprševanju v glavni komori se vzorec s pomočjo magnetnega potiskalnega droga potisne na vzorčno mizo glavne komore. Ta konstrukcija zmanjša število ciklov izpraznjevanja in ponovnega polnjenja glavne komore z zrakom, kar ne le učinkovito prihrani čas, temveč tudi zagotovi boljši lokalni vakuum ter učinkovito izboljša kakovost nanašanja.
Uporabna področja:
Lahko se uporablja za pripravo enoplastnih ali večplastnih tankih feroelektričnih plasti, prevodnih plasti, zlitinskih plasti, polprevodniških plasti, keramičnih plasti, dielektričnih plasti, optičnih plasti itd.