Poudarek
Uvod:
Dvojno ciljna magnetronska razpršilna naprava je laboratorijska naprava za nanos prevlek, ki jo je razvila naša podjetja. Oprema se lahko opremi z enosmernim napajalnikom in radiofrekvenčnim napajalnikom s močjo od 500 W do 1000 W. V primerjavi z običajnim plazemskim razprševanjem ima magnetronska razpršilna metoda prednosti visoke energije in visoke hitrosti, visoke hitrosti nanosa ter nizkega dviga temperature vzorca. Gre za tipično hitro in nizkotemperaturno razpršilno metodo. Magnetronski cilj ima vgrajen vodno hlajen medplast. Vodni hladilnik učinkovito odvaja toploto in preprečuje kopičenje toplote na površini cilja, kar omogoča dolgotrajno stabilno delovanje magnetronskega nanosa. Oprema je kompaktno zasnovana tako, da doseže ravnovesje med prostornino in zmogljivostjo, z lepo videzom in izčrpno funkcionalnostjo. Celotna naprava se upravlja prek dotikalnega zaslona z vgrajenim programom za nanos prevleke z enim gumbom, kar omogoča preprosto in enostavno uporabo. Gre za idealno opremo za pripravo tankih plasti v laboratoriju.
Uporaba: Uporablja se za pripravo enoplastnih ali večplastnih tankih feroelektričnih plastičnih filmov, prevodnih filmov, zlitinskih filmov, polprevodniških filmov, keramičnih filmov, dielektričnih filmov, optičnih filmov itd.