EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Uvod: Ta oprema je sestavljena predvsem iz vakuumsko komore iz nerjavnega jekla, magnetrona za razprševanje ciljev, naprave za nanašanje prevlek z izparevanjem, vzorčne mize za namestitev vzorcev, enote za vakuumsko črpalko, vakuumskih merilnih instrumentov, sistema za dovod zraka in nadzornega sistema. Glavna enota opreme se upravlja prek dotikalnega zaslona in jo spremlja temperaturni nadzorni merilnik. Njen digitalni vmesnik za parametre in avtomatizirano delovanje uporabnikom zagotavlja odlično razvojno in raziskovalno platformo. Vakuumsko komoro zazna oblikovna rešitev z ciljem na dnu, vzorčna miza pa ima funkciji segrevanja in vrtenja, kar omogoča bolj enakomerno nanašanje prevleke. Sistem za pridobivanje vakuuma opreme uporablja dvostopenjsko vakuumsko črpalko. Predhodna stopnja je visokohitrostna mehanska črpalka, ki učinkovito skrajša čas od atmosferskega tlaka do nizkega vakuuma. Glavna črpalka je turbomolekularna črpalka z visoko črpno zmogljivostjo in hitrejšim časom pridobivanja vakuuma. Celoten sistem za pridobivanje vakuuma je čist in hitar.
Uporaba: Uporablja se za pripravo enoplastnih ali večplastnih tankih feroelektričnih plastičnih filmov, prevodnih filmov, zlitinskih filmov, polprevodniških filmov, keramičnih filmov, dielektričnih filmov, optičnih filmov itd.
