Natančen CMP sistem

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Natančen CMP sistem

Pregled naprave:

Natančen CMP sistem se predvsem uporablja za brušenje in zniževanje debeline glavnih polprevodniških čipov, kot so silicijevi, silicijevega dioksida in indijevega antimonida čipi s fokalno ravnino ter za kemično-mehansko ljudenje spodnje površine, zgornje površine in končnih površin.

Celotna naprava in vsi njeni deli so popolnoma odporni proti koroziji, parametri procesa pa se nastavljajo prek dotikalnega zaslona z interaktivnim vmesnikom.

Velikost obdelovanega vzorca:

Velikost vzorca ≤ 152 mm / 6 palcev

Obdelovalna debelina je 50 μm do 10 mm

Dosegljivi kazalniki procesa:

1. Skupna odstopanja debeline (TTV) ploščice s premerom φ75 mm so znotraj 2 μm;

2. Skupna odstopanja debeline (TTV) ploščice s premerom φ100 mm so znotraj 3 μm;

3. Skupna odstopanja debeline (TTV) ploščice s premerom φ150 mm so znotraj 4 μm.

Vrste vzorcev, ki jih je mogoče obdelati:

Silicij, silicijev karbid, diamant, keramika, galijev nitrid, kremen, galijev antimonid, indijev fosfid, galijev arsenid, kadmijev cinkov telurid, živosrebrnov kadmijev telurid, litijev niobat in drugi polprevodniški materiali.

Lastnosti opreme:

1. Realizacija funkcije zaznavanja končne točke za nadzor debeline vzorca.

2. Spletna, pravčasovna regulacija temperature in hlajenje brusne in lanske plošče.

3. Večkanalni sistem dovoda.

4. Avtomatska funkcija izpiranja brusne in lanske plošče.

5. Avtomatska funkcija popravka plošče.

6. Vpenjalna naprava je opremljena z digitalno mizico za spremljanje debeline s natančnostjo merjenja 0,1 μm.

Tehnični parametri:

Konfiguracija naprave:

Pogosto zastavljena vprašanja

1. O ceni:

Vsa naša cenovanja so konkurenčna in pogajljiva. Cena se spreminja v odvisnosti od konfiguracije in kompleksnosti prilagoditve vaše naprave.

2. O vzorcu:

Možemo vam ponuditi storitve izdelave vzorcev, a morate plačati nekatera stroškovna pristojbina.

3. O plačilu:

Po potrditvi načrta morate najprej plačati zaloge, nato pa bo zavod začel pripravljati izdelke. Ko bo oprema pripravljena in boste plačali ostanek, jo bomo poslali.

4. O dostavi:

Ko bo izdelava opreme končana, vam bomo poslali video za sprejem, lahko pa tudi pridejo na lokacijo za pregled opreme.

5. Namestitev in prilagajanje:

Ko bo oprema prišla v vašo fabriko, jo lahko pošljemo inženirje za namestitev in prilagajanje opreme. Za ta strošek storitve vam bomo ponudili poseben cenik.

6. O jamstvu:

Naše opreme ima jamstvo trajajoče 12 mesecev. Po obdobju jamstva, če so katerikoli deli pokvarjeni in jih je treba zamenjati, bomo vzel le stroške proizvodnje.

7. Pooblastilo za servis po prodaji:

Vse naprave imajo garancijsko obdobje več kot eno leto. Naši tehnični inženirji so vedno na voljo, da vam ponudijo namestitev opreme, prilagajanje in vzdrževanje. Za posebne in velike naprave lahko ponudimo tudi storitve namestitve in prilagajanja na kraju samem.