Značilnosti naprave
1. Ta oprema je zasnovana za lasersko obrezovanje polprevodniških plošč visoke kakovosti.
2. Opremljena z laserjem, uvoženim iz Združenih držav Amerike, ki zagotavlja izjemno stabilnost med laserskim obrezovanjem.
3. Ima anti-šumno, visoko natančno XY-položajno mizo z linearnimi motorji in rešetkastim merilnim sistemom, kar učinkovito zmanjšuje napravno povzročeno motnjo na izdelkih.
4. Vključuje CCD-kamero z razločljivostjo 12 megapixelov za natančno pozicioniranje.
5. Uporablja ahrornatsko slikovno tehnologijo in zmogljivosti za prepoznavanje slik in pozicioniranje.
6. Ima vmesnike GPIB in druge zunanje vmesnike za priključitev zunanjih instrumentov za meritve ali prilagoditev upora.
7. Marmorna podlaga zagotavlja odlično stabilnost naprave.
Tehnični parametri
Model |
MDSG-LT74 |
Laserska valovna dolžina |
1064/355 nm |
Laserska moč |
6 W/4 W |
Tipična velikost lisa |
25-35μm |
Metoda fokusiranja |
Samodejno, nadzorovano s programom za računalnik. |
Metoda hlađenja |
Hladjenje z zrakom |
Obseg premika laserskega žarka |
27 mm × 27 mm |
Ločljivost premika |
0.76μm |
Natančnost ponovnega pozicioniranja |
±2,5 µm |
Način gibanja |
Linearni motor z rešetkastim merilnim orodjem za zmanjšanje vpliva motenj |
Obseg gibanja) |
300 mm × 300 mm |
Natančnost ponovnega pozicioniranja |
±1 µm |
Metoda meritve upora |
meritev s štirimi žicami |
Natančnost meritve upora |
±0,02 % (srednji upor) |
Område za meritve upora |
0.1ω–50 MΩ |
Hitrost merjenja |
4 µs/meritev |
Korekcija napake na ničli in v polnem obsegu |
Samodejna korekcija |
Določitev sond |
Programabilna poljubna nastavitev |
Vmesnik |
GPIB |
Dimenzije opreme |
1430 x 913 x 1747 mm |
Teža |
617 kg |
Delovni pogoji (voda, elektrika, plin) |
Vlažnost: < 70 %; Napajanje: izmenični tok 220 V, 2,5 kW; Stisnjen zrak: < 0,6 MPa, < 40 L/min |
Avtorske pravice © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane