Model: MDST-6100
ICP suhi plazemski izpiralnik je primeren za uporabo pri odstranjevanju ostankov (predobdelava in odstranjevanje ostankov), odstranjevanju polimerov (PI, BCB, PBO) ter odstranjevanju fotorezistnega sloja po ionski implantaciji; komora sprejme vzorce premera 200 mm (z možnostjo prilagoditve za vzorce premera 100 mm in 150 mm).
ICP suha plazemska odlagalka fotorezistov
ICP suhi plazemski izpiralnik je primeren za uporabo pri odstranjevanju ostankov (predobdelava in odstranjevanje ostankov), odstranjevanju polimerov (PI, BCB, PBO) ter odstranjevanju fotorezistnega sloja po ionski implantaciji; komora sprejme vzorce premera 200 mm (z možnostjo prilagoditve za vzorce premera 100 mm in 150 mm).
Zunanji videz opreme je predmet stalnih nadgradenj in prilagoditev; dejansko dostavljeno izdelka je merodajno.
Prednosti:
Visoka stopnja ionizacije plazme in razgradnje
Po obdelavi z plazmo je ponovljivost visoka
Suha gravura, brez virov onesnaževanja
Nadzor tlaka in temperature prek metuljastih ventilov
Omogoča vzdrževanje plazme pri visokem tlaku
Ločitev vira visoke napetosti in generatorja ionov
Mikrovalovno stikališče in magnetni krog sta združljiva
Zmore ustrezati zahtevam strank
Nizka temperatura med obdelavo
Hitro odzivno obdobje in kratek čas odziva
Model |
MDST6100 |
PLASMA vir |
radiofrekvenčno |
moč |
1000W |
Področje uporabe |
8 palcev (združljivo z 4 ali 6 palci) |
Velikost škatle |
25 kosov |
Skupne dimenzije |
D1696׊2170×V2146 mm |
Kontrola sistema |
PLC |
Sistem za materialne posode |
Avtomatsko |
Dejanske fotografije opreme:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Avtorske pravice © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
