Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Pridobi ponudbo

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Domov
O nas
MH Equipment
Rešitev
Uporabniki v tujini
Video
Kontaktirajte nas
Domov> Pločni šleper
  • Postopek visoke natančnosti kemsko-mehanskega ravnanja CMP
  • Postopek visoke natančnosti kemsko-mehanskega ravnanja CMP
  • Postopek visoke natančnosti kemsko-mehanskega ravnanja CMP
  • Postopek visoke natančnosti kemsko-mehanskega ravnanja CMP
  • Postopek visoke natančnosti kemsko-mehanskega ravnanja CMP
  • Postopek visoke natančnosti kemsko-mehanskega ravnanja CMP
  • Postopek visoke natančnosti kemsko-mehanskega ravnanja CMP
  • Postopek visoke natančnosti kemsko-mehanskega ravnanja CMP

Postopek visoke natančnosti kemsko-mehanskega ravnanja CMP

Pridobite brezplačno ponudbo
Opis produkta

Visoka natančnost Naprava za kemikalno mehansko ravnanje (CMP)

Precizna naprava CMP učinkovito odstrani presežne snovi na površinah ploskev in doseže globalno nanoskalo ravnovanje s sinergijskim vplivom kemikalne korozije in mehanskega drsenja.
Večnamenska naprava za kemikalno lesenje, posebej zasnovana za uporabo v CMP in lesenju obloge, ki zahtevajo strogo geometrijsko natančnost in kakovost površine, lahko dosežejo ravnoto na podnanometrovem razsežju Ra.
Ta naprava lahko izvaja natančno poliranje na ravni nanometrov za posamezne forme, ter polira jaske z debelino do 8 colj. Poleg tega se lahko uporablja tudi v nekonvencionalnih aplikacijah poliranja, kot je poliranje tvrdih podlag, priprava Epi površine in izboljšanje reciklaža čipov.
Da bi prilagodili serijo strojev CDP različnim materialom in procesnim zahtevam, tehniki po meri oblikujejo in načrtujejo ustrezne polirne predloge glede na tehnične zahteve uporabnikov, da natančno izpolnijo zahteve postopka CMP. Lev slika prikazuje obseg ene jaske s premerom 8 colj.
Da bi zagotovili natančno merjenje in nadzor jasek ali naprav, ki so bile polirane na strojih CDP, smo razvili sistem EPD, katerega po meri oblikovan program za skeniranje grafičnih podatkov CDP lahko teče na laptopih. Ta program spremlja in grafično prikazuje postopek poliranja, in avtomatsko ustavi, ko je dosežen končni točka.
Preventiraj presežno poliranje. Skeniranje CDP lahko služi tudi kot varnostna značilnost. Če so zaznane spremembe v kateremkoli odzornem procesnem parametru, bo skeniranje CDP izvorilo audio poplave, da se prepreči presežno poliranje. Primeri v tem smislu vključujejo spremembo hitrosti nosilca iz njegove prednastavljene vrednosti. Sistem EPD bo opazil to situacijo, saj bo ravnotežje trenja med podlagom in poliranim materialom spremenjeno zaradi katerekoli spremembe hitrosti nosilca, kar bi lahko ogrozilo uspešno ravnovanje plošče/waferja. V tem točku bo sistem EPD izvoril slušalno poplavo pred tem, ko je odsotnik odstranjen s površine podlage, ali pa ga je mogoče nastaviti na samodejno izklop.
Sistem ACP se lahko bolje uporablja v širokem območju aplikacij, in graf prikazuje rezultate testiranja procesa CMP za steklovino, bakar, nitrid silicija, aluminij-bakar, silicij-germanij in wolfram.
Graf prikazuje, da po procesu CMP lahko WTWNU doseže 2,82%.
Uporaba
Ravnovanje silicijskih plošč
Ravnovanje spojin II-V
Ravnanje oksida
Ravnanje podlage za infravecno materialo
Ravnanje podlag iz safira, nitriba galijuma in karbida silicija, ravnanje EPI podlage
Zamakanje SOS in SOI pladenkov na manj kot 20 mikronov
Hierarhična obratna inženiringa ali FA aplikacije
Specificacija
Napajanje
220v 10A
Velikost peljke
4”/100mm
6”/150mm
8”/200mm
12”/300mm
Premer delovnega diska
520mm, 780mm
Hitrost delovnega diska
0-120rpm
Hitrost nosilca
0-120rpm
Frekvenca hoda nosilca
0-30spm
Obratno tlakovanje ploščice
0-150psi
Tlak na sredinski točki ploščice
0-50psi
Časovno omejen cas
0-10 h
Krmilna kanal
≥2
Hitrost napajanja
0-150ml/min
Pakiranje & Dostava
Podjetni profil
Minder-Hightech je prodajni in storitveni predstavnik v opremi za industrijo polprevodnikov in elektronskih izdelkov. Od leta 2014 je podjetje posvečeno temu, da strankam ponuja Izredne, Zanesljive in Enotne Rešitve za strojno opremo.
Pogosta vprašanja
1. O ceni:
Vsa naša cenovanja so konkurenčna in pogajljiva. Cena se spreminja v odvisnosti od konfiguracije in kompleksnosti prilagoditve vaše naprave.

2. O vzorcu:
Možemo vam ponuditi storitve izdelave vzorcev, a morate plačati nekatera stroškovna pristojbina.

3. O plačilu:
Po potrditvi načrta morate najprej plačati zavezo, nato bo zavod začel pripravljati izdelke. Ko bo
oprema pripravljena in plačali boste ostanek, jo bomo poslali.

4. O dostavi:
Ko bo izdelava opreme končana, vam bomo poslali video za sprejem, lahko pa tudi pridejo na lokacijo za pregled opreme.

5. Namestitev in prilagajanje:
Ko bo oprema prišla v vašo fabriko, jo lahko pošljemo inženirje za namestitev in prilagajanje opreme. Za ta strošek storitve vam bomo ponudili poseben cenik.

6. O jamstvu:
Naše opreme ima jamstvo trajajoče 12 mesecev. Po obdobju jamstva, če so katerikoli deli pokvarjeni in jih je treba zamenjati, bomo vzel le stroške proizvodnje.

Več izdelkov

Poizvedba

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Pravilnik o zasebnosti

Poizvedba Email Whatsapp Top
×

Ostanite v stiku