Predstavitev produkta
Preskusna postaja serije MDSM-VP-CG omogoča preizkušanje IV/CV lastnosti, RF preizkušanje, fotoelektrično preizkušanje, elektromagnetne transportne lastnosti in preizkušanje Hallovega učinka za karakterizacijo naprav in materialov v okolju ultra-visokega vakuum in pri visokih ter nizkih temperaturah.
Z namestitvijo komponent, kot so vakuumsko komora in zaščitni zaslon proti sevanju, ter integracijo visoke temperature, nizke temperature, vakuum in drugih preskusnih pogojev, lahko učinkovito zagotovi stabilno preskusno okolje za polprevodniške naprave.
Značilnosti produkta
1. Podpira temperaturo od 4,2 K do 473 K
2. Zasnova protisevalnega zaslona za izboljšanje enakomernosti in natančnosti temperature vzorca
3. Zasnova toplotnega odvoda sonde za zagotavljanje natančnega spusta sonde
4. Nadgradljivo nalaganje magnetnega polja
5. Prilagodljiva in razširljiva konfiguracija preskusnih aplikacij
6. Avtomatsko krmiljenje pretoka hladiva, avtomatsko natančno krmiljenje temperature
Proizvodni parametri
Model |
MDSM-VP-CG-O-2 |
MDSM-VP-CG-O-4 |
MDSM-VP-CG-C-2 |
|
Chuck, prosim. |
Velikost |
2inch |
4inch |
2inch |
Metoda pritrditve vzorca |
Vakuumska toplotna mast / pritisni vzmeti |
|||
Vakumska stopnja |
največji vakuum 10^-10 torr |
|||
|
Optični lastnosti |
Premik mikroskopa |
Os R 360 ° + premikajoča os 100 mm |
||
Zaslon |
Povečava: 7:1, ločljivost 4 μm (povečava 216X) ali metalografski mikroskop (20X~1000X) |
|||
|
Dimenzije opazovalno okno |
2inch |
4inch |
2inch |
|
|
Temperatura nadzor specificacije |
Piksli CCD |
50W (simulacija)/200 W (digitalno)/500 W (digitalno) |
||
Metoda hlađenja |
Tekoči dušik/tekoči helij |
Hladilni kompresorji |
||
Način nadzora |
Odprt zankov ročni/avtomatski nadzor pretoka hladiva |
Zaprta zanka avtomatski nadzor |
||
Razpon |
77 K~473 K/4,2 K~473 K |
7,3 K~473 K |
||
Resolucija |
0,001 K |
|||
Stabilnost |
4,2 K ±0,2 K pri 77 K±0,1 K pri 373 K±0,08 K pri 473 K±0,1 K |
|||
Specifikacija sonde |
Številka sonde |
Število različnih sonda se lahko razširi do 6 |
||
Regulacija sonde |
Zunanja regulacija vakuumskih mehov, ročno krmiljenje |
|||
Točnost točke |
2μm |
|||
Uhajanje toka |
1 pA/V @25 ℃, 100 fA/V @25℃ |
|||
Vrsta konektorja |
Triaksialni/SMA/K/Vlaknasti vmesnik |
|||
Avtorske pravice © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane