DMD maskless litografska naprava , China DMD maskless litografska naprava Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis izdelka

MDZY-DMD-MLL200
DMD maskless litografska naprava

MDZY-DMD-MLL200 je maskless litografska naprava, ki temelji na DMD (Digital Micromirror Device) tehnologiji. Z nadomeščanjem tradicionalnih mask z DMD omogoča hitro in fleksibilno oblikovanje litografskih vzorcev ter podpira 2D in 8-bitno sivo-slikovno litografijo. Zadovoljuje vse zahteve po litografiji v mikronskem merilu in se pogosto uporablja v različnih področjih, kot so MEMS in mikrofluidika.

Značilnosti

1. Kompaktna namizna konstrukcija
2. Visoko zmogljiv vir svetlobe za izpostavljanje z visoko enakomernostjo LED
3. Zeleno vodeno izpostavljanje
4. Samodejno fokusiranje slike z uporabo CCD kamere
5. Visoko natančna linearna motorična stopnja
6. Enostaven uporabniški vmesnik programske opreme

Parametri

Sredinska valovna dolžina UV svetlobnega vira	405nm
Enakomernost izpostavljanja	Več kot 90 %
Najmanjša širina črte elementa	0,5 µm
Površina izpostavljenosti pri enojnem pisanju	0,16*0,16 mm (@0,5 µm)
Hitrost pisanja	80 mm²/min (širina črte značilnosti 1 µm)
Podprti formati slik	DXF, GDS, bmp, png itd.

Konfiguracija

Konfiguracija	Osnovna različica	Profesionalna različica
Svetlobni vir	Visokomocni LED: 405 nm
DMD čip	DLP6500
Površina posameznega eksponiranega polja	0,160,16 mm (@0,5 µm), 0,40,4 mm (@0,7 µm), 0,80,8 mm (@1 µm), 1,61,6 mm (@2 µm)
KAMERA	Kamera za mikroskop z velikim območjem (podpira merjenje velikosti)
Najmanjša enakomerna širina črte	0,8 µm	0.5μm
Natančnost povezovanja	±0,3 µm	±0,3 µm
Natančnost prekrivanja	±0,5 µm	±0,5 μm
Hitrost pisanja	20 mm²/min (1 µm širina črte elementa)	80 mm²/min (1 µm širina črte elementa)
Premikalna miza	Visoko natančen linearni motor (ponovljiva natanko pozicioniranje ±0,25 µm), mehanizem za nivelacijo, ročna rotacijska stopnja	Visoko natančen linearni motor (ponovljiva natanko pozicioniranje ±0,25 µm), mehanizem za nivelacijo, električna rotacijska stopnja
Preklapnik objektivnih leč	Ročno preklapljanje objektivnih leč	Motorizirano preklapljanje objektivnih leč
Modul za fokusiranje	Samodejno fokusiranje s CCD sliko	Aktivno fokusiranje z laserjem
Podprte velikosti ploščic	4 inch	4-palčne/8-palčne
Debelina vzorca	0-10 mm	0–10 mm

Primeri uporabe

Mikrofluidni čip

DMD UV litografija za funkcionalnost prekrivanja

Tritje telurnih mrež, ki sledi nanosu elektrod

Sivinska litografija Fresnelovih leč, 3D sivinska litografija za Fresnelove leče, prikaz neprekinjenih stopničastih sprememb v prečnem prerezu iz slik skenirnega elektronskega mikroskopa.

Elektrode iz dvodimenzionalnih materialov, dvodimenzionalne materialne elektrode po nanašanju in odstranjevanju, nanesene elektrode so Ti/Au/Ti (skupaj 12 nm)

Kombinirana DMD UV in elektronsko žarišče litografija

Programska oprema

Uporabniki lahko iz glavnega vmesnika izvedejo vse operacije litografije brez kakršnih koli pojavnih oken.

Modul za obrezovanje slike:

Vključuje funkcije, kot so poljubno obrezovanje, samodejno polnjenje, inverzija barv in odpravljanje zo brez zmanjševanja.

Povezovanje objektov:

Uporabniki lahko nastavijo povezave objektov na kateri koli točki površine vzorca in hkrati predogledajo ujemanje med katerim koli pod sliko na celotnem polju slike in površino vzorca, kar omogoča natančno prekrivanje.

Funkcija risanja na mestu:

Grafiko je mogoče risati neposredno na mikroskopsko sliko in projicirati na vzorec, da se doseže fotolitografija na mestu.

Strojna oprema – resnične fotografije

Pakiranje in dostava

Profil podjetja

Od leta 2014 je Minder-Hightech prodajni in servisni zastopnik v industriji polprevodniške in elektronske proizvodne opreme. Trudimo se, da ponudimo strankam odlične, zanesljive in enostopne rešitve za strojno opremo. Do danes so se naši blagovne znamke razširile v večino industrijsko razvitih držav po svetu in pomagajo strankam izboljšati učinkovitost, zmanjšati stroške ter izboljšati kakovost izdelkov.

Pogosto zastavljena vprašanja

1. O ceni:
Vsa naša cenovanja so konkurenčna in pogajljiva. Cena se spreminja v odvisnosti od konfiguracije in kompleksnosti prilagoditve vaše naprave.

2. O vzorcu:
Možemo vam ponuditi storitve izdelave vzorcev, a morate plačati nekatera stroškovna pristojbina.

3. O plačilu:
Po potrditvi načrta morate najprej plačati zaloge, nato pa bo zavod začel pripravljati izdelke. Ko bo oprema pripravljena in boste plačali ostanek, jo bomo poslali.

4. O dostavi:
Ko bo izdelava opreme končana, vam bomo poslali video za sprejem, lahko pa tudi pridejo na lokacijo za pregled opreme.

5. Namestitev in prilagajanje:
Ko bo oprema prišla v vašo fabriko, jo lahko pošljemo inženirje za namestitev in prilagajanje opreme. Za ta strošek storitve vam bomo ponudili poseben cenik.

6. O jamstvu:
Naše opreme ima jamstvo trajajoče 12 mesecev. Po obdobju jamstva, če so katerikoli deli pokvarjeni in jih je treba zamenjati, bomo vzel le stroške proizvodnje.

7. Pooblastilo za servis po prodaji:
Vse naprave imajo garancijsko obdobje več kot eno leto. Naši tehnični inženirji so vedno na voljo, da vam ponudijo namestitev opreme, prilagajanje in vzdrževanje. Za posebne in velike naprave lahko ponudimo tudi storitve namestitve in prilagajanja na kraju samem.

Domača Stran

O Nas

Oprema MH

Rešitev

Uporabniki Iz Tuja

Video

Kontaktirajte nas

DMD maskless litografska naprava