Sistem de Etalaj cu Ion Reactiv RIE , China Sistem de Etalaj cu Ion Reactiv RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Descriere produs

Etalaj cu ioni reactivi (RIE)

Etalarea prin ioni reactivi (RIE) poate fi utilizată pentru a pregăti structuri micro-nano și este una dintre tehnologiile procesului de fabricație a semiconductoarelor. În timpul procesului de etalare RIE, diferite particule active din plasmă formează produse volatili cu suprafața materialului. Aceste produse sunt eliminate de pe suprafața materialului, realizând în final o etalare anizotropă a microstructurii suprafeței materialului. Produsele serie ale etaloarelor cu ioni reactivi (RIE) sunt bazate pe tehnologia plasmei cuplate capacitiv cu plașe plane și sunt potrivite pentru etalarea modelată a materialelor siliciu, cum ar fi siliciul monocristalin, siliciul policrostal, nitru de siliciu (SiNy), oxid de siliciu (SiO), cuarz (Quartz) și carbide de siliciu (SiC); pot fi utilizate pentru modelare și etalarea stratificată a materialelor organice, cum ar fi fotorezistenta (PR), PMMAHDMS și alte materiale; pot fi utilizate pentru etalarea fizică a materialelor metale, cum ar fi nicleu (Ni), craniu (Cr) și materiale ceramice; pot fi utilizate pentru etalarea la temperaturi ambiente a materialelor de fosfid de indiu (InP). Pentru unele tipuri de etalare cu cerințe proces mai ridicate, etalarea noastră ICP RIE poate fi de asemenea utilizată.

Configurație principală:

1. Dimensiune suport de probe: 4, 8, 12 inch, compatibil cu diverse probe mici, suport pentru personalizare
2. Interval putere plasma RF: 300/500/1000 W opțional;
3. Pompa moleculară: 620/1300 //s opțional, set de pompe anti-coroziune opțional;
4. Pompa preliminară: pompu mecanică cu ulei/pompu secă opțional;
5. Control al presiunii: 0 ~ 1 Torr opțional; configurația fără control al presiunii poate fi selectată,
6. Gaz de proces: până la 9 gaze de proces pot fi echipate simultan; temperatură: 10 grade ~ temeperatura ambientală / -30 de grade ~ temperatură ambientală / interval de temperatură personalizabil;
7. Răcire cu heliu în spate poate fi configurată în funcție de aplicație;
8. Tarnacă antipoluire demontabilă;
9. Sistem de blocare a sarcinii optional;
10. Sistem de control automat cu un buton;

Materiale potrivite pentru RIE:

1. Materiale bazate pe siliciu: siliciu (Si), dioxid de siliciu (SiO2), nitru de siliciu (SiNx), carburi de siliciu (SiC)
2. Materiale III-V: fosfid de indiu (InP), arsenur de galii (GaAs), nitru de galii (GaN)
3. Materiale II-VI: telurur de cadmiu (CdTe)
4. Materiale magnetice/materiale ale aliajelor
5. Materiale metalice: aluminiu (AI), aur (Au), tungsten (W), titan (Ti), tantal (Ta)
6. Materiale organice: fotorezist (PR), polimer organic (PMMA/HDMS), org

Aplicații Conexe cu RIE:

1. Ușurarea materialelor bazate pe siliciu, modele nanoimprimare, modele în matrice și modele lentile;
2. Etalaj la temperatură a indului fosfidat (InP), etalaj modelat al dispozitivelor bazate pe InP în comunicarea optică, inclusiv structuri de conducte, structuri de cavitate rezonantă și structuri de creastă;
3. Etalaj al materialelor SiC, potrivite pentru dispozitive microvalvă, dispozitive de putere, etc.;
4. Etalaj prin dispersie fizică este aplicat unor metale anumite, cum ar fi niciu (Ni), crom (Cr), ceramici și alte materiale dificil de etalaj chimic, iar etalajul modelat al materialelor este realizat prin bombardament fizic;
5. Etalajul materialelor organice este aplicat etalajului, curățării și eliminării materialelor organice precum fotorezistenta (Photo Resist), PMMA, HDMS, Polimer;
6. Etalaj stratificat pentru analiza eșecurilor plăcii (Failure Analysis-FA);
7. Grabuirea materialelor bidimensionale: W, Mo materiale bidimensionale, grafen;

Rezultate ale aplicațiilor:

Configurarea proiectului și diagrama structurii mașinii

Articol	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Dimensiunea produsului	≤6 inches	≤8 inches	≤8 inches
Sursă de putere RF	0-300W/500W/1000W Ajustabil, potriviți automat
Pumpă Moleculare	-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Personalizat			Antiseptic620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Personalizat
Pumpă Foreline	Pumpă mecanică\/pumpă secă			Pompă uscată
Presiunea procesului	Presiune necontrolată\/0-1Torr presiune controlată
Tip de gaz	H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Personalizat (Până la 9 canale, fără gaze corozive și toxice)			H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Până la 9 canale)
Gama de gaze	0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/personalizat
LoadLock	Da\/Nu			Da
Control temă eșantion	10°C~Temă cameră/-30°C~100°C/Personalizat			-30°C~100°C/Personalizat
Răcire cu helium din spate	Da\/Nu			Da
Tichetare cavitate proces	Da\/Nu			Da
Control temă perete cavitate	Nu/Temă cameră~60/120°C			Temă cameră-60/120°C
Sistem de Control	Automat/personalizat
Material de etalare	Bazat pe siliciu: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Materiale magnetice/alea metalice Material metallic: Ni/Cr/Al/Au..... Material organic: PR/PMMA/HDMS/Organic film......			Bazat pe siliciu: Si/SiO2/SiNx...... III-V (nota 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (nota 3): CdTe...... Materiale magnetice/alea metalice Material metallic: Ni/Cr/A1/Au...... Material organic: PR/PMMA/HDMS/film organic...

Poze reale din laboratoare și fabrici

Împachetare și livrare

Profilul companiei

Minder-Hightech este reprezentant de vânzări și servicii în echipamente pentru industria semiconductoarelor și a produselor electronice. Din 2014, compania este angajată să ofere clienților Soluții Superioare, De încredere și Complexe pentru echipamente.

Întrebări frecvente

1. Despre preț:
Toate preturile noastre sunt competitive și negociabile. Prețul variază în funcție de configurare și complexitatea personalizării dispozitivului dvs.

2. Despre eșantion:
Putem oferi servicii de producție a eșantioanelor pentru dvs., dar trebuie să plătiți unele taxe.

3. Despre Plată:
După ce planul este confirmat, trebuie să ne plătiți un avans mai întâi, iar fabrica va începe să pregătească mărfuri. După ce echipamentul este gata și plătiți soldul, vom expedia produsele.

4. Despre Livrare:
După finalizarea fabricării echipamentelor, vă vom trimite videoclipul de acceptare, iar puteți veni și să inspectați echipamentul pe loc.

5. Instalare și Depanare:
După ce echipamentul ajunge în fabrica dvs., putem să trimitem ingineri să instaleze și să depisteze echipamentul. Vom oferi o cotare separată pentru această taxa de serviciu.

6. Despre garanție:
Echipamentul nostru are o perioadă de garanție de 12 luni. După perioada de garanție, dacă orice părți sunt avariate și trebuie înlocuite, vom cobra doar prețul costului.

Pagina principală

DESPRE NOI

MH Equipment

Soluție

Utilizatori din străinătate

Video

CONTACTAȚI-NE

Sistem de Etalaj cu Ion Reactiv RIE

Etalaj cu ioni reactivi (RIE)

Configurație principală:

Materiale potrivite pentru RIE:

Aplicații Conexe cu RIE:

Mai multe produse

Seria MD-FS Mașină de înfășurare a capacitorilor

Seria MD-FDS Mașină automată de înfășurare a capacitorilor

Seria MD-EFS Mașină de înfășurare a capacitorilor

Seria MD-EDFS Film Capacitor Winding Machine

Cerere de informații

Articles

Products

Get In Touch

Sistem de Etalaj cu Ion Reactiv RIE

Etalaj cu ioni reactivi (RIE)

Configurație principală:

Materiale potrivite pentru RIE:

Aplicații Conexe cu RIE:

Mai multe produse

Cerere de informații

Articles

Products

Get In Touch

Pune-te în contact