MDHS-AL8 Mașinărie de fotolitografie automată simplu laterală de 8" , China MDHS-AL8 Mașinărie de fotolitografie automată simplu laterală de 8" Manufacturers, Suppliers, Factory

Descriere produs

MDHS-AL8 Mașinărie de fotolitografie automată simplu laterală de 8"

1. Mod de lucru: Robotul de încărcare încarcă automate placile din cutia A-B (reciclabilă) pe bancul de prepoziționare

masă de lucru, iar prin ajustarea poziționării camerei wafer și a sistemului de rotație automată, se realizează pre-poziționarea wafer-ului; Robotul de încărcare încarcă apoi wafer-urile pre-poziționate pe masă pentru aliniere. Prin recunoașterea imaginii asistată de computer și ajustarea sistemului de aliniere automată, se poate realiza alinierea automată a graficelor de pe mască și wafer-uri. Este posibil să se completeze o expoziție fără a alinia graficele. După expoziția automată realizată de sistemul de supraexpoziție, robotul de descărcare plasează wafer-urile în cutia C-D (reciclabilă) pentru wafer-uri.
2. Zona de expoziție: 160 × 160mm;
3. Neregularitatea iluminării la expoziție: ≤ 3%;
4. Intensitatea de expoziție: 0~≥ 40mw/cm2 ajustabil (unghi de rază 2 °);
5. Unghiul razei UV: ≤ 3 °;
6. Lungimea de undă centrală a luminii ultraviolete: 365nm;
7. Durata de viață a surselor de lumina UV: ≥ 20000 de ore;
8. Capacitate de separare: 0~≥ 1000um ajustabil;
9. Precizie de aliniere: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Acuratețea expunerii: Expunere prin contact ± 1 μm. Separație a expunerii apropiate de 20 μm unghi al fasciculului 2 ° ≤ ± 2 μm
11. Metode de expunere: contact dur, contact moale și expunere la o distanță apropiată;
12. Mod de expunere: Se poate alege între expunere într-o singură etapă sau expunere cu deplasare
13. Sistem de recunoaștere a imaginii și rotire preliminară (inclusiv bancă de lucru pentru poziționare preliminară): unghi de rotație Q ≥ ± 180 °, precizie de rotație Q ≤ 0.01 °;
14. Sistem de recunoaștere a imaginii și aliniere automată (inclusiv bancă de lucru UVW de aliniere): interval de aliniere X Y ≥ ± 5mm, unghi de rotație Q ≥ ± 3 °, iar cele două lentile ale microscopului sunt controlate de două platforme electrice XYZ.
15. Dimensiunea mascei: 5 "× 5" și 7" × 7 ";
16. Dimensiunea discului: 4 "și 6";
17. Stații de lucru pentru cutii de filme superioare și inferioare: două stații de lucru;
18. Amortizor pe aer
19. Robô cu braț dublu pentru încărcare și descărcare: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Numărul de vase din cutia de vase: determinat în funcție de numărul de vase din cutia de vase a clientului;
21. ridicarea mesei de poziționare: Z ≥ ± 25mm;
22. Timing-ul expunerii: ajustabil între 0 și 999,9 secunde;
23. Ritmul de producție: >120 bucăți pe oră;
24. Sursa de alimentare: monofază AC220V 50Hz, consum de energie ≤ 3KW;
25. Presiunea aerului curat: ≥ 0,4MPa;
26. Gradul de vid: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Dimensiuni: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Greutate: Aproximativ 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Această mașină constă dintr-o capătă de expunere ultraviolett cu LED, un sistem de recunoaștere a imaginilor și rotație automată, o bancă de lucru pre-poziționată, precum și sisteme de recunoaștere a imaginilor și aliniere automată, benche de aliniere, roboți de încărcare, roboți de descărcare, rafturi și echipamente de control electric, accesorii de rezervă etc.

Specificitați

1. Cap de expunere: Un cap de expunere LED ultraviolettă (365nm);
2. Bank de recunoaștere a imaginii și pre-aliniere:
1) 1 cameră (1,3 milioane de pixeli)
2) Fixare centrală de poziționare
3) 1 set de platformă rotativă (folosind motor servo)
4) 1 set de sistem de poziționare
3. Sistem de recunoaștere a imaginii și aliniere automată:
1) 2 camere (5 milioane de pixeli cu rată înaltă de cadre)
2) 2 lentile (lentile cu definiție ridicată de 4x)
3) Un computer industrial
4) Un controler (controlat de PLC)
5) Un set de platformă de aliniere (folosind motor cu pas în cinci faze)
6) Un set de sistem de mișcare
7) Dispozitivul de plată superioră utilizează un motor pentru ridicare și coborâre
7) Software-ul utilizează cea mai recentă versiune a LabVIEW Professional Edition
4. Braț mecanic de încărcare și descărcare:
1) X Y. Un set Z de mecanism de mișcare automată
2) Braț robotic cu două brațe (brațe de încărcare și descărcare)
5. Mecanism de fixare a cutiei cu wafer-uri:
1) AB este fixarea de poziționare a cutiei de alimentare
2) CD reprezintă poziționarea fixă a cutiei de film pentru tăiere
3) G reprezintă poziționarea fixă a cutiei de film pentru poziția NG
6. Platformă fixă a camerei:
7. Două seturi de mecanisme de ajustare electrică Y.Z (controlate de motoare servo)
8. Stâlp și consolă de control electric:
1) 1 computer industrial
2) Un set de PLC;
3) Un set de electrovane și sistem de control
4) Un set de instrumente pneumatice digitale
5) Un set de consolă de control
8. Accesorii suplimentare:
1) Tracheal: 15 metri
2) 2 electrovane
3) Pompa de vid: 1 unitate
9. Date tehnice:
1) Un manual de utilizare
2) Un certificat de conformitate
10. Suplimentar
Programul software al echipamentului trebuie să fie înzestrat cu protocolul de comunicare SECS, iar cumpărătorul furnizează o bibliotecă dinamică cu funcția de a se conecta la sistemul MES al cumpărătorului, înregistrând automat numărul de lot al produsului, numărul de comandă și starea operațiunii și încarcând acestea. În același timp, are funcția de a identifica codul QR al plăcii de mască, de a-l compara cu codul QR al plăcii de mască din sistemul MES și de a preveni luarea unei plăci greșite.

Împachetare și livrare