Prima lucru pe care îl facem este să acoperim suprafața materialului de bază cu o materie specială reactivă la lumină. Este un material fotosensibil, care are un rol cheie în proces. Apoi folosim o mască cu un anumit tip de model pe suprafața ei și o punem deasupra acelei straturi. Masca funcționează ca un șablon cu găuri care transmit lumina prin locuri selecte. Următorul pas constă în expunerea modelului de pe masca la lumină UV pe care nu o putem vedea. Această lumină creează o imagine a materialei fotosensibile, similară cu modul în care lumina soarelui poate crea o umbră când o proiectezi printr-o formă taiată. Ultimul pas constă în a scoate sustratul într-un tip de soluție cunoscută sub numele de dezvoltor. Acest proces elimină secțiunea stratului fotosensibil expus la lumină și prezintă un model pe materialul de bază.
ÎN Agrafaj cu Fii una dintre cele mai mari părți care trebuie controlate sunt erorile care apar în timpul celor trei pași principali și este foarte important să se obțină rezultate bune și precise. Învelirea a) Învelirea implică acoperirea materialului de bază uniform cu material fotosensibil. Adică, fiecare bucată de material de bază trebuie să aibă aceeași cantitate de ingredient special. Altfel spus, folosim de obicei mașini pentru a obține acea suprafață perfect dreaptă și nivelată. Pe parcursul acestui pas, verificăm calitatea (fără răsfoiri sau defecțiuni pe parte de suprafață)
Soluția de dezvoltare este folosită pentru a elimina secțiunea expusă a materialului, creând un model în etapa 3; dezvoltare. Dar putem să ne greșim și la această etapă. Nu vrem să lăsăm materialul prea mult timp în soluție și dacă soluția noastră este prea puternică, va distruge modelul pe care încercăm să-l realizăm. Deci, trebuie să controlăm foarte attent timpul și concentrația soluției de dezvoltare pentru a obține rezultate bune.
Avantajul principal al Mașina de legare cu fir este capacitatea de a imagina componente extrem de mici. Acest lucru ne permite să producem părți foarte mici, dar cu performanță ridicată. Metoda este, de asemenea, foarte avantajoasă pentru producția în masă; ne permite să fabricăm multe părți într-un interval scurt de timp. Acest aspect este mai ales crucial în industrii cu o cerere foarte mare pentru anumite tipuri de părți identice (cum ar fi industria fabricării electronicelor).
Pe de altă parte, există și câteva dezavantaje. Costul ridicat al fotolitografiei cu aliniator de masca, atât în ceea ce privește mașinile cât și materialele folosite pentru aceasta, este una dintre cele mai mari provocări legate de această metodă. Mașinile pot fi extrem de scumpe, iar avem nevoie de materiale brute de înaltă calitate, care de asemenea costă foarte mult. De asemenea, nu este posibil să se realizeze caracteristici mai mici decât de exemplu 10 nm cu acest tip de metodă. Acest lucru este semnificativ, deoarece adesea ne străduim să construim lucruri din ce în ce mai mici și mai puternice. În plus, procesul este extrem de predispus la contaminare, prin urmare trebuie efectuat într-un mediu foarte curat (de obicei numit o cameră curată). Această cerință poate face lucrurile puțin mai complexe și mai scumpe.
În domenii de la electronica la medicină, fotolitografia cu aliniere prin mască se bazează pe cercetare și dezvoltare fundamentală. Aplicarea SU-8 este absolut esențială în industria electronică pentru fabricarea dispozitivelor microelectronică, cum ar fi circuite integrate, senzori și afișaje. Crearea acestor structuri a necesitat numeroase unelte speciale construite pentru a executa această lucrare, exemple bune fiind aliniatorul cu mască EVG(R) și sistemul de legare a plăcilor EVG(R).
De exemplu, în cercetarea medicală, fotolitografia se utilizează pentru a construi canale microscopice destinate analizei lichidelor corporale; această tehnologie face parte din ceea ce se numește un laborator-pe-o-placă. Folosind această tehnologie, lichidele pot fi analizate rapid și cu precizie pentru a arunca mai multă lumină asupra stării de sănătate a unui pacient. Utilizarea unui aliniator de masca în fotolitografie pentru fabricarea sistemelor micro și nanofluidice este de asemenea posibilă. Dacă sunt corecte, aceste sisteme ar putea mări precizia dozării medicamentelor pentru pacienți, îmbunătățind eficacitatea și siguranța tratamentelor.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Toate drepturile rezervate