Masa de străbucire și polire MDAM-CMP100/150, unitatea principală și toate piesele de schimb sunt fabricate din materiale extrem de rezistente la coroziune. Mașina întreagă este rezistentă la coroziune, stabilă, rezistentă la uzură și la oxidație, fiind indicată pentru străbucirea și polirea mecanică chimică a diferitelor materiale semiconductoare. Spațiul de lucru este separat de zona de control cu afișaj și este controlat digital folosind un sistem de control cu ecran tactil. Este controlată prin CNC, potrivită pentru stocare și recuperare.
Sistemul dispozitivului are o funcție de timing, care poate funcționa în mod continuu timp de 10 ore și controlează viteza roții de polire. Panoul de control este plasat în afara zonei de lucru pentru a preveni splaja soluției abrazive pe panoul de control. Toate parametrii principali pot fi ajustați pe ecranul tactil. Parametrii procesului principal au funcții de stocare și recuperare pentru a asigura consistența și repetabilitatea procesului. Eșantionul de disc este adsorbit pe suprafața inferioară a fixturii prin pompare cu vid, fiind echipat cu un pompe de vid fără ulei și având o funcție independentă de prevenire a sugei inverse.
Sistemul de rotație orizontală al eșantionului cu configurație fixă are o funcție de oscilație, cu un interval de oscilație ajustabil de 0-100%. Amplitudinea și viteza frecvenței de oscilație pot fi setate precis prin panoul de control. Fixturul este dotat cu un sistem de propulsie independent pentru rotație, cu o gamă de viteză ajustabilă de 0-120rpm. Această concepere funcțională asigură polirea completă a eșantionului în timpul procesului de strâmpărare și polire, îmbunătățind semnificativ capacitatea și eficiența aparaturii.
Fixturul este dotat cu o masă de monitorizare digitală a grosimii, cu o precizie de monitorizare de 1 μm. Presiunea fixturului pe eșantionul de plăcuță este ajustabilă continuu, cu o gamă de presiune de 0-3,5kg și o precizie de 2g/cm², fiind dotat și cu un dispozitiv de măsurare a presiunii.
Funcționarea discului de rectificare și lustruire este controlată de transmisia principală, iar viteza discului poate fi reglată în intervalul 0–120 de rotații pe minut. Acest domeniu de variație a vitezei asigură eficient viteza optimă de rectificare și lustruire a eșantioanelor din materiale cu duritate și dimensiuni diferite, permițând astfel obținerea unor indicatori tehnologici superiori.
Înlocuirea discurilor de rectificare și a discurilor de polizare este simplă și rapidă, datorită discurilor încorporate care permit echipamentului să treacă rapid de la procesul de rectificare la cel de polizare, reducând în mod semnificativ durata procesului. În plus, discul de rectificare este echipat cu un bloc de reparație a discului, pentru a asigura o bună planitate a acestuia.