Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Obțineți o ofertă

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Pagina Principală
Despre Noi
Echipament MH
Soluție
Utilizatori Din Străinătate
Video
Contactați-ne
Acasă> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Material de gravare Depunere Reacție Mașină de gravare ionica RIE
  • Material de gravare Depunere Reacție Mașină de gravare ionica RIE
  • Material de gravare Depunere Reacție Mașină de gravare ionica RIE
  • Material de gravare Depunere Reacție Mașină de gravare ionica RIE
  • Material de gravare Depunere Reacție Mașină de gravare ionica RIE
  • Material de gravare Depunere Reacție Mașină de gravare ionica RIE
  • Material de gravare Depunere Reacție Mașină de gravare ionica RIE
  • Material de gravare Depunere Reacție Mașină de gravare ionica RIE
  • Material de gravare Depunere Reacție Mașină de gravare ionica RIE
  • Material de gravare Depunere Reacție Mașină de gravare ionica RIE
  • Material de gravare Depunere Reacție Mașină de gravare ionica RIE
  • Material de gravare Depunere Reacție Mașină de gravare ionica RIE

Material de gravare Depunere Reacție Mașină de gravare ionica RIE

Obțineți o ofertă gratuită
Descriere produs

RIE Echipament de gravare reactivă cu ioni

Aplicațiile de cercetare ale echipamentelor de gravare reactivă cu ioni RIE în domeniile de fabricație a semiconductorilor și de prelucrare micro-nano se regăsesc în principal în procesarea structurilor la scară nanometrică, gravarea materialelor noi, fabricarea dispozitivelor complexe și în depășirea tehnologică interdisciplinară. Valoarea sa esențială constă în atingerea unei îndepărtări precise și cu înaltă selectivitate a materialelor prin controlul combinat al bombardamentului fizic și al reacțiilor chimice. Susține explorarea tehnologiilor avansate în domeniul semiconductorilor și inovația dispozitivelor.

Caracteristici echipament:

1. Precizie și anizotropie înalte: Poate realiza structuri cu pereți laterali verticali și dimensiuni precise.
2. Uniformitate și repetabilitate bună: potrivit pentru producție la scară largă.
3. Aplicabilitate largă a materialelor: Alegând diferite combinații de gaze, se pot etala diverse materiale (semiconductori, dielectrici, metale etc.).
4. Raport de selectivitate ridicat: Permite etalarea precisă a unor materiale specifice fără a cauza daune semnificative altor materiale.
5. Curățare: Proces uscat, evitând problemele legate de curățare și de tratarea deșeurilor lichide cauzate de etalarea umedă.
Specificitați
Configurația sistemului:
Încălzire electrică
Cameră (cu o singură cavitate)
N / A
Tip electrod inferior
242mm
Intervalul de Temperatură a Procesului
-20-100°C
Sursa de plasmă
600W-1000W
Dimensiunea manometrului procesului
100mtorr
Sistem de vacuu
Unități de pompă moleculară, sisteme cu pompă uscată, cameră de proces
Numărul de camere de gravare
Unicav
Clampe
TIP
Dimensiune/mm
Material
N / A
8、6、4、3、2
Detector de punct final
Opţiune
Plasmă cuplată inductiv
Opţiune
Parametri Tehnici:
Material de etalare
Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Rată de gravare
>20nm/min (material Si02) Ratele pentru materiale diferite nu sunt la fel
Control distribuit
>85°
Metoda de încărcare
Încărcare deschisă
Conductă de gaze controlată de MFC
Sunt disponibile șase rezervoare de gaze
Opțiune de răcire cu heliu pe partea din spate
Da
Interfață om-masina
Funcționare pe ecran tactil
Mod de operare
Mod complet automat, mod necomplet automat
Selectarea și configurarea dispozitivelor automate
Puteți alege între piese importate sau domestice
Cazuri de aplicare
Împachetare și livrare
Profilul companiei
Din 2014, Minder-Hightech este reprezentant de vânzări și service în industria echipamentelor pentru produse Semiconductor și Electronice. Suntem dedicați să oferim clienților Soluții Superioare, Fiabile și Complese pentru echipamente mecanice. Până în prezent, produsele mărcii noastre s-au răspândit în majoritatea țărilor industrializate din întreaga lume, ajutând clienții să îmbunătățească eficiența, să reducă costurile și să îmbunătățească calitatea produselor.
Întrebări frecvente
1. Despre preț:
Toate preturile noastre sunt competitive și negociabile. Prețul variază în funcție de configurare și complexitatea personalizării dispozitivului dvs.

2. Despre eșantion:
Putem oferi servicii de producție a eșantioanelor pentru dvs., dar trebuie să plătiți unele taxe.

3. Despre plată:
După ce planul este confirmat, trebuie să ne plătiți un avans mai întâi, iar fabrica va începe să pregătească mărfuri. După ce echipamentul este gata și plătiți soldul, vom expedia produsele.

4. Despre Livrare:
După finalizarea fabricării echipamentelor, vă vom trimite videoclipul de acceptare, iar puteți veni și să inspectați echipamentul pe loc.

5. Instalare și Depanare:
După ce echipamentul ajunge în fabrica dvs., putem să trimitem ingineri să instaleze și să depisteze echipamentul. Vom oferi o cotare separată pentru această taxa de serviciu.

6. Despre garanție:
Echipamentul nostru are o perioadă de garanție de 12 luni. După perioada de garanție, dacă orice părți sunt avariate și trebuie înlocuite, vom cobra doar prețul costului.

7. Service după vânzare:
Toate mașinile au o perioadă de garanție de peste un an. Inginerii noștri tehnici sunt mereu online pentru a vă oferi servicii de instalare, punere în funcțiune și întreținere a echipamentelor. Putem oferi servicii de instalare și punere în funcțiune la fața locului pentru echipamente speciale și mari.

Mai multe produse

Cerere

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Toate drepturile rezervate

Politica de Confidențialitate

Cerere Email WhatsApp TOP
×

Luați legătura