


Rozmiar wafera |
płytki 4”~ 8” |
Grubość wafli |
100~750 mikronów |
Typ płytek |
Si, SiC, GaN lub inne materiały |
Rodzaj folii |
Niebieski film, film UV Szerokość: 230 ~ 300 mm Długość: 100 m Grubość: 0,05 ~ 0,2 mm |
Pierścień nośnikowy waferów |
6”, 8” DISCO |
Metoda ładowania i rozładunku |
Ręczne umieszczanie i usuwanie waferów/pierścieni nośników |
Dokładność pozycjonowania filmu |
±0,5 mm Standardowe płyty 6” i 8” dla waferów 6” i 8” |
Pompa próżniowa |
Minder-Hightech |
Kontrola antystatyczna |
Wentylator deionizacyjny |
Jednostka sterująca |
Na podstawie sterownika PLC, z ekranem dotykowym 10" |
Ochrona bezpieczeństwa |
Wyposażony w ochronę kurtyną światłową i przycisk nagłego zatrzymania |
Napięcie zasilania |
Jednofazowy prąd przemienny AC 220V, 16A |
Sprężone powietrze |
0,45~0,6MPa, przepływ 70L/min |
Obudowa maszyny |
Biała metalowa obudowa obsadzona plastikiem |
Objętość |
850mm (szerokość)*1750mm (głębto) *1970mm (wysokość) |
Waga netto |
480 kg |


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone