Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Uzyskaj wycenę

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Strona Główna
O Nas
MH Urządzenia
Rozwiązanie
Użytkownicy Zagraniczni
Wideo
Skontaktuj Się Z Nami
Strona główna > PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Maszyna do trawienia jonowego reakcyjnego (RIE)
  • Maszyna do trawienia jonowego reakcyjnego (RIE)
  • Maszyna do trawienia jonowego reakcyjnego (RIE)
  • Maszyna do trawienia jonowego reakcyjnego (RIE)
  • Maszyna do trawienia jonowego reakcyjnego (RIE)
  • Maszyna do trawienia jonowego reakcyjnego (RIE)
  • Maszyna do trawienia jonowego reakcyjnego (RIE)
  • Maszyna do trawienia jonowego reakcyjnego (RIE)
  • Maszyna do trawienia jonowego reakcyjnego (RIE)
  • Maszyna do trawienia jonowego reakcyjnego (RIE)
  • Maszyna do trawienia jonowego reakcyjnego (RIE)
  • Maszyna do trawienia jonowego reakcyjnego (RIE)

Maszyna do trawienia jonowego reakcyjnego (RIE)

Uzyskaj bezpłatną ofertę
Opis produktu

Maszyna do trawienia reakcyjnego jonowego RIE

Zastosowanie maszyn do trawienia reakcyjnego jonowego RlE w dziedzinie produkcji półprzewodników i przetwarzania mikro- i nanostruktur znajduje swoje odzwierciedlenie głównie w przetwarzaniu struktur na poziomie nanometrowym, trawieniu nowych materiałów, wytwarzaniu złożonych urządzeń oraz przełomach w technologiach interdyscyplinarnych. Jej podstawowa wartość polega na osiąganiu wysokiej precyzji i selektywności w usuwaniu materiału poprzez skoordynowaną kontrolę bombardowania fizycznego i reakcji chemicznych. Wspiera badania na froncie technologii półprzewodnikowych oraz innowacje urządzeń.

Cechy wyposażenia:

1. Wysoka precyzja i anizotropia: umożliwia trawienie wzorów o stromych ściankach bocznych i dokładnych wymiarach.
2. Dobra jednorodność i powtarzalność: odpowiednia do produkcji masowej.
3. Szeroka przydatność materiałów: Poprzez dobór różnych kombinacji gazów można trawić różne materiały (półprzewodniki, dielektryki, metale itp.).
4. Wysoki stosunek selektywności: Umożliwia precyzyjne trawienie określonych materiałów bez powodowania znacznego uszkodzenia innych materiałów.
5. Czyszczenie: Proces suchy, unikanie problemów związanych z czyszczeniem i utylizacją cieczy odpadowej powstającej przy trawieniu mokrym.
Specyfikacja
Konfiguracja systemu:
Ogrzewanie elektryczne
Komora (jednokomorowa)
N/D
Typ dolnej elektrody
242mm
Zakres temperatury procesowej
-20-100°C
Źródło plazmy
600W-1000W
Wielkość manometru procesowego
100mtorr
System próżniowy
Jednostki pompy molekularnej, systemy pompy suchej, komora procesowa
Liczba komór trawienia
Jednokanałowy
Imadła
Typ
Rozmiar/mm
Materiał
N/D
8、6、4、3、2
Detektor punktu końcowego
Opcja
Indukcyjnie sprzężona plazma
Opcja
Parametry techniczne:
Materiał do graveowania
Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Szybkość trawienia
>20 nm/min (materiał SiO2), szybkości dla różnych materiałów są różne
Kontrola rozproszona
>85°
Metoda załadunku
Wersja z otwartym ładowaniem
Rurociąg gazowy sterowany przez MFC
Dostępne są sześć zbiorników gazowych
Opcja chłodzenia tylnego strony heliem
Tak
Interfejs człowiek-maszyna
Obsługa dotykowa
Tryb pracy
Tryb w pełni automatyczny, tryb niecałkowicie automatyczny
Wybór i konfiguracja urządzeń automatycznych
Można wybrać części importowane lub krajowe
Wnioski
Pakowanie i Dostawa
Często zadawane pytania
1. O cenie:
Wszystkie nasze ceny są konkurencyjne i negocjowalne. Cena różni się w zależności od konfiguracji i złożoności dostosowywania urządzenia.

2. O próbkach:
Możemy udostępnić usługi produkcji próbek, ale mogą one wiązać się z pewnymi opłatami.

3. O płatności:
Po potwierdzeniu planu musisz wpierw zapłacić nam zaliczkę, a fabryka rozpocznie przygotowanie towarów. Po gotowości urządzenia i po zapłaceniu reszty, wyślemy je.

4. O Dostawie:
Po ukończeniu produkcji sprzętu wyślemy Ci film akceptacyjny, możesz również przyjechać na miejsce, aby sprawdzić urządzenie.

5. Instalacja i Debugowanie:
Po przybyciu equipmentu do twojej fabryki możemy wysłać inżynierów do instalacji i debugowania equipmentu. Dla tej opłaty za usługę dostarczymy osobnego ofertę.

6. O gwarancji:
Nasze equipment ma okres gwarancji 12 miesięcy. Po upływie okresu gwarancyjnego, jeśli którekolwiek części ulegną uszkodzeniu i będą wymagały wymiany, obciążymy tylko kosztem zakupu.

7. Serwis gwarancyjny i pogwarancyjny:
Wszystkie maszyny mają okres gwarancji ponad jeden rok. Nasi inżynierowie techniczni są zawsze online i mogą zapewnić Ci usługi instalacji, uruchamiania oraz konserwacji urządzeń. Dla specjalistycznego i dużego sprzętu możemy zapewnić usługi instalacji i uruchamiania na miejscu.

Więcej produktów

Zapytanie

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone

Polityka prywatności

Zapytanie Email WhatsApp WeChat
GÓRA
×

SKONTAKTUJ SIĘ Z NAMI