Wprowadzenie:
Urządzenie do napylania metodą rozpylania magnetonowego to specjalne laboratoryjne urządzenie do napylania opracowane przez naszą firmę. Urządzenie może być wyposażone w zasilacz prądu stałego oraz zasilacz prądu przemiennego (RF). Moc zasilaczy mieści się w zakresie od 500 W do 1000 W. W porównaniu z konwencjonalnym rozpylaniem plazmowym rozpylanie magnetonowe charakteryzuje się takimi zaletami jak wysoka energia, duża szybkość, wysoka szybkość osadzania oraz niski wzrost temperatury próbki. Celownik magnetonowy jest wyposażony w warstwę chłodzącą z obiegiem wody. Chłodnica wodna skutecznie odprowadza ciepło i zapobiega jego gromadzeniu się na powierzchni celownika, dzięki czemu proces napylania magnetonowego może przebiegać stabilnie przez dłuższy czas. Dzięki kompaktowej konstrukcji osiągnięto optymalny balans pomiędzy objętością a wydajnością urządzenia; jego wygląd jest estetyczny, a funkcje – kompleksowe. Całe urządzenie sterowane jest za pomocą ekranu dotykowego oraz wbudowanego jednoprzyciskowego programu napylania, co zapewnia łatwą obsługę i czyni je idealnym rozwiązaniem do przygotowywania cienkich warstw w laboratorium.
Zastosowanie:
Może być stosowany do przygotowywania jednowarstwowych lub wielowarstwowych cienkich warstw ferroelektrycznych, warstw przewodzących, warstw stopów, warstw półprzewodnikowych, warstw ceramicznych, warstw dielektrycznych, warstw optycznych itp.