Wprowadzenie:
Dualny instrument do napylania metodą rozpraszania magnetonowego jest specjalnym urządzeniem laboratoryjnym do napylania, opracowanym przez naszą firmę i wyposażonym w dwa położenia tarcz docelowych. Urządzenie jest wyposażone w zasilacz prądu stałego oraz zasilacz prądu przemiennego o częstotliwości radiowej. W porównaniu z typowym rozpraszaniem plazmowym rozpraszanie magnetonowe charakteryzuje się takimi zaletami jak wysoka energia i duża prędkość procesu, wysoka szybkość napylania oraz stanowi typowy przykład szybkiego napylania w niskiej temperaturze. Tarcza magnetonowa jest wyposażona w warstwę międzymetaliczną chłodzoną wodą. Chłodnica wodna skutecznie odprowadza ciepło i zapobiega jego gromadzeniu się na powierzchni tarczy, dzięki czemu proces napylania magnetonowego może przebiegać stabilnie przez długi czas. Etap próbki w tym modelu został zaprojektowany jako układ ruchu posuwisto-zwrotnego, z magnetycznym tłoczkiem sprzęgającym po lewej stronie, który umożliwia przesuwanie etapu próbki w lewo i w prawo. Całe urządzenie jest sterowane za pomocą ekranu dotykowego, wyposażonego w wbudowany program jednoprzyciskowego napylania – prosty i łatwy w obsłudze, co czyni je idealnym rozwiązaniem do laboratoryjnej przygotowywania cienkich warstw.
Zastosowanie:
Może być stosowany do przygotowywania jednowarstwowych lub wielowarstwowych cienkich warstw ferroelektrycznych, warstw przewodzących, warstw stopów, warstw półprzewodnikowych, warstw ceramicznych, warstw dielektrycznych, warstw optycznych itp.