





|
Główny układ plazmy próżniowej (60)
|
||||
|
Rozmiar urządzenia
|
D 950×S 900×W 1650mm
|
|||
|
waga
|
350 kg
|
|||
|
Źródło zasilania na zamówienie
|
AC380V, 50/60Hz, 5 przewodów, 16A (ogólny typ otwarty powyżej C)
|
|||
|
Specyfikacja generatora plazmowego
|
||||
|
moc
|
częstotliwości radiowych
|
częstotliwość średnia
|
||
|
0~600W
|
0-1000W
|
|||
|
częstotliwość zasilania
|
13,56MHz
|
40 K Hz
|
||
|
System próżniowy
|
||||
|
pompa próżniowa
|
Dwustopniowa pompa obrotowa (olejowa): 40m3/h
|
|||
|
rura próżniowa
|
Cała linia z nierdzewnej stali, w tym przeguby próżniowe o wysokiej wytrzymałości
|
|||
|
jakość materiału
|
Stop aluminium (dostosowalna jaskinia z nierdzewnej stali)
|
|||
|
grubość
|
25mm
|
|||
|
ciasnotka
|
Wojskowe spawanie hermetyczne
|
|||
|
Wewnętrzne wymiary jaskini
|
375*375*430mm (szerokość * wysokość * głębokość)
|
|||
|
Skuteczny rozmiar płyty elektrycznej
|
247*281mm (szerokość * głębokość)
|
|||
|
Dostępna przestrzeń rozstawu
|
22mm
|
|||
|
Układ elektroplastyczny
|
Poziomy układ, może być aktywna ekstrakcja
|
|||
|
podkłady
|
Standardowy zestaw, materiał opcjonalny (aluminium, stal siatkowa)
|
|||
|
przestrzeń robocza
|
6 warstw
|
|||
|
procesowe gazowe
|
||||
|
Zakres przepływu
|
0~300SCCM
|
|||
|
Trasa gazu procesowego
|
Standardowo z dwoma ścieżkami, można dostosować. Rura przewodząca gaz procesowy wykonana jest z ferroflonu
|
|||
|
navar
|
||||
|
SC
|
PLC
|
|||
|
tryb interaktywny
|
7-calowy ekran dotykowy
|
|||







Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone