 
  
| Model  | MDTS-WT2200  | 
| Liczba osi cienienia  |  2 | 
| Liczba stanowisk roboczych  | 3, Metoda indeksowania  | 
| Oś toczywa  | Liczba wirników powietrza: 2  Silnik wirowy: zmiennoczęstotliwościowy silnik 7,5kW Prędkość: 0~6000obr/min, bezstopniowo regulowalna Specyfikacja koła tarczowego: Φ203mm Typ koła tarczowego: koło tarczowe z diamentem | 
| System podawania koła tarczowego  | Ilość: 2 zestawy  Metoda sterowania systemem podawania: przewód liniowy LM i śruba kulowa łączność Silnik napędowy: silnik serwowy Minimalna prędkość podawania: 0,1um/sec Maksymalna prędkość podawania: 50mm/sec | 
| Stół roboczy    | Ilość: 3, tryb indeksowania  Silnik wirowy: silnik serwowy Prędkość: 0~300obr/min, bezstopniowo regulowalna Metoda adsorpcji: adsorpcja próżniowa | 
| Obracająca się płyta robocza  | Tryb napędu: silnik serwowy  Zakres obrotu: 0~240° Kształt pozycjonowania: pozycjonowanie wspomagane przez czujnik | 
| Automatyczna grubość  system pomiarowy | Metoda pomiaru: IPG kontaktowy pomiar online w czasie rzeczywistym  Liczba głowic pomiarowych: 2 Czujnik pomiarowy: czujnik na poziomie 0,1um | 
| Automatyczne ładowanie\  system rozładunkowy | Typ pudła: 6-8 calowego Kasetty, 25 warstw  Metoda automatycznego ładowania\rozładunku: wykorzystanie manipulatora waferowego, aby zapewnić transport cienkich waferów bez uszkodzeń Grubość wafera: 150um-1000um | 
| Funkcja czyszczenia stanowiska roboczego  | Metoda czyszczenia: polerowanie olejkiem DI + woda + powietrze dwufazowe spłukiwanie  | 
| Automatyczne czyszczenie/  system Suszenia | Czyszczenie: czyszczenie dysza DIW  Metoda suszenia: wydmuchanie + suszenie Prędkość: maksymalnie 1000rpm bezstopniowo regulowalna | 
| System eliminowania statycznego  | Pasek jonowy lub wentylator orion  | 
| Chłodnica wierta  | Temperatura: 18-22°C  Przepływ: 4~8L/min | 
| System sterowania    | System sterowania: system sterowania PC, ekran dotykowy, truskolorowy sygnalizator alarmowy  Interfejs człowiek-maszyna w języku chińskim/angielskim | 
| Maksymalny rozmiar płytki  | Maksymalna zgodność z płytami o średnicy 8 cali  | 
| Zakres prędkości    | 0~6000 RPM  | 
| Przesunięcie osi Z    | 160mm  | 
| Prędkość posuwu w osi Z  | 0.1~100um/sec  | 
| Szybkie cofanie osi Z  | 50mm/sec  | 
| Rozdzielczość osi Z  | 0,1um  | 
| Zakres pomiaru grubości online  | 0~1800um  | 
| Wydzielczość pomiaru grubości online  | 0,1um  | 


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone