Wprowadzenie:
To urządzenie jest dwucelowym instrumentem do napylania metodą magnetronową. Jest wyposażone w dwa cele magnetronowe oraz dwa zestawy zasilaczy prądu stałego. Może być stosowane do nanoszenia wielowarstwowych przewodzących warstw metalowych. Urządzenie składa się z dwóch części: głównej komory i komory przejściowej. Komora przejściowa jest wyposażona w magnetyczny tłoczyskowy element napinający, a pomiędzy obiema komorami zainstalowana jest próżniowa zawora szybkozamykająca. Użytkownik może ładować próbki w komorze przejściowej i wykonywać wstępne odpompowanie podczas napylania w głównej komorze. Po zakończeniu procesu napylania w głównej komorze próbka może zostać wpchnięta za pomocą magnetycznego tłoczyskowego elementu napinającego na stolik próbki w głównej komorze. Takie rozwiązanie pozwala zmniejszyć liczbę cykli odpompowywania i ponownego wpuszczania powietrza do głównej komory, co nie tylko skutecznie oszczędza czas, ale także zapewnia lepszą jakość próżni lokalnej oraz skutecznie poprawia jakość napylania.
Zastosowanie:
Może być stosowany do przygotowywania jednowarstwowych lub wielowarstwowych cienkich warstw ferroelektrycznych, warstw przewodzących, warstw stopów, warstw półprzewodnikowych, warstw ceramicznych, warstw dielektrycznych, warstw optycznych itp.