EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Wprowadzenie: To urządzenie składa się głównie z komory próżniowej ze stali nierdzewnej, tarczy napylania magnetronowego, urządzenia do napylania przez parowanie, stołu próbek służącego do umieszczania próbek, zespołu pomp próżniowych, manometru pomiaru próżni, systemu dopływu powietrza oraz systemu sterowania. Główna jednostka urządzenia jest obsługiwana za pomocą ekranu dotykowego i kontrolowana przez termometr regulacji temperatury. Cyfrowy interfejs parametrów oraz zautomatyzowana obsługa zapewniają użytkownikom doskonałą platformę do badań i rozwoju. Komora próżniowa została zaprojektowana z tarczą umieszczoną w dolnej części, a stół próbek posiada funkcje ogrzewania i obrotu, co zapewnia bardziej jednolity efekt nanoszenia powłoki. System osiągania próżni w tym urządzeniu składa się z dwustopniowego zespołu pomp próżniowych. Pompa wstępna to szybkoobrotowa pompa mechaniczna, która skutecznie skraca czas od ciśnienia atmosferycznego do stanu niskiej próżni. Główna pompa to turbomolekularna pompa próżniowa o wysokiej wydajności pompowania i szybszym tempie osiągania próżni. Cały system osiągania próżni charakteryzuje się czystością i szybkością.
Zastosowanie: może być stosowany do przygotowywania pojedynczych lub wielowarstwowych cienkich warstw ferroelektrycznych, przewodzących, stopowych, półprzewodnikowych, ceramicznych, dielektrycznych oraz optycznych.
