Wprowadzenie:
To urządzenie składa się głównie z komory próżniowej ze stali nierdzewnej, celownika napylania magnetronowego, urządzenia do napylania przez parowanie, stołu próbek służącego do umieszczania próbek, zespołu pomp próżniowych, manometru pomiarowego próżni, systemu dopływu powietrza oraz systemu sterowania. Główna jednostka urządzenia jest obsługiwana za pomocą ekranu dotykowego i kontrolowana przez termoregulator. Cyfrowy interfejs parametrów oraz zautomatyzowana obsługa zapewniają użytkownikom doskonałą platformę do badań i rozwoju. Komora próżniowa została zaprojektowana z dolnym położeniem celownika, a stół próbek posiada funkcje ogrzewania i obrotu, co zapewnia bardziej jednolity efekt nanoszenia powłoki. System osiągania próżni w tym urządzeniu wykorzystuje dwustopniowy zespół pomp próżniowych. Pompa wstępna to szybkoobrotowa pompa mechaniczna, która skutecznie skraca czas od ciśnienia atmosferycznego do stanu niskiej próżni. Główna pompa to turbomolekularna pompa próżniowa o wysokiej prędkości pompowania i szybszym czasie osiągania próżni. Całkowity system osiągania próżni charakteryzuje się czystością i szybkością.
Zastosowanie:
Może być stosowany do przygotowywania jednowarstwowych lub wielowarstwowych cienkich warstw ferroelektrycznych, warstw przewodzących, warstw stopów, warstw półprzewodnikowych, warstw ceramicznych, warstw dielektrycznych, warstw optycznych itp.