Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Uzyskaj ofertę

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Strona główna
O Nas
MH Equipment
Rozwiązanie
Użytkownicy za Granicą
Wideo
Skontaktuj się z nami
Strona główna> MH Equipment> Szliker i poler
  • Automatyczne czyszczenie CMP
  • Automatyczne czyszczenie CMP
  • Automatyczne czyszczenie CMP
  • Automatyczne czyszczenie CMP
  • Automatyczne czyszczenie CMP
  • Automatyczne czyszczenie CMP
  • Automatyczne czyszczenie CMP
  • Automatyczne czyszczenie CMP
  • Automatyczne czyszczenie CMP
  • Automatyczne czyszczenie CMP
  • Automatyczne czyszczenie CMP
  • Automatyczne czyszczenie CMP

Automatyczne czyszczenie CMP

Uzyskaj bezpłatną wycenę
Opis produktu

Urządzenia do czyszczenia po polerowaniu chemicznym waferów

Czyszczenie po CMP

Cechy maszyny

Silna zdolność procesowa
Podwójne komory szczotkowe, z szerokim zakresem zastosowań procesowych
Urządzenie zajmuje małą powierzchnię, o wymiarach 2200 * 800 * 2200 (mm)

Pola aplikacji

szczotkowanie po CMP w rozmiarze 6-8 cali
Czyszczenie po toczaniu SIC lub innych podłoży

Parametry techniczne

Czyszczenie po 4-calowym i 6-calowym CMP
Projekt dwukamrowy, niezależna operacja komory Wet in and dry out lub dry in and dry out
Wysokoprędkościowe suszenie SRD

LoadPort jednostka, jednostka ładowania

LoadPort to jednostka ładowania tego urządzenia
Karmienie kasetami mokrymi
Ma funkcję sprayowego nawilżania

Jednostka szczotkowa, jednostka czyszczenia płytek Wafer

Jednostka dwukomorowa, zdolna do obsługi dwóch różnych roztworów czyszczących
Pozycja czyszczona może być dostosowana zgodnie z przepisem - konwayer pasemkowy

Jednostka SRD, jednostka suszenia waferów

Typ zacisku wafera do suszenia w trybie wirującego, z maksymalną prędkością 4000 RPM
Może wykonywać czyszczenie AS na powierzchni wafera i spryskiwać DIW

Jednostka WYŁĄCZENIA, jednostka cięcia

Jednostka UnLoad wyposażona jest w niezależny FFU, aby zapewnić czystość wyjściową wafera

Transporter

Strefa mokra to konwayer pasemkowy
Strefa sucha dla teleportacji robota

Opis jednostki szczotkowej

Jak pokazano na lewym rysunku, jednostka szczotkowa tego urządzenia składa się z dwóch jednostek szczotkowych, czyli BU1 i BU2.
Ciśnienie szczotki każdego modułu można dostosowywać oddzielnie (zgodnie z przepisem), a każdy segment szczotki może być myty różnymi chemikalnymi roztworami czyszczącymi indywidualnie.
Szczotka maszyny jest wykonana z PVA, co jest powszechnie stosowanym typem na rynku.
Transmisja między komorami to taśmie konwayerowa. W środku komory znajduje się DIW RINSE

Jednostka SRD

Jednostka SRD wyposażona jest w zacisk CHUCK oraz ramę AS ARM, które mogą fizycznie czystszczeć i suszyć powierzchnię płytki.
Specyfikacja
Rozmiar urządzenia:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Metody ładowania i rozładunku
suszone w/chłonione mokre/wychodzące suche
Liczba jednostek szczotkowych
2
Liczba jednostek SRD
1
Metoda transportu
Transport pasem w strefie mokrej, transport robotem w strefie suchej
Rozmiar urządzenia z komorą czyszczącą nr 1 wynosi 1850 * 800 * 2200
Pakowanie i Dostawa
Profil Firmy
FAQ
1. O cenie:
Wszystkie nasze ceny są konkurencyjne i negocjowalne. Cena różni się w zależności od konfiguracji i złożoności dostosowywania urządzenia.

2. O próbkach:
Możemy udostępnić usługi produkcji próbek, ale mogą one wiązać się z pewnymi opłatami.

3. O Płatności:
Po potwierdzeniu planu musisz najpierw zapłacić nam zaliczkę, a fabryka rozpocznie przygotowywanie towaru. Po gotowości
urządzenia i zapłaceniu reszty, wyślemy je.

4. O Dostawie:
Po ukończeniu produkcji sprzętu wyślemy Ci film akceptacyjny, możesz również przyjechać na miejsce, aby sprawdzić urządzenie.

5. Instalacja i Debugowanie:
Po przybyciu equipmentu do twojej fabryki możemy wysłać inżynierów do instalacji i debugowania equipmentu. Dla tej opłaty za usługę dostarczymy osobnego ofertę.

6. O gwarancji:

Nasze equipment ma okres gwarancji 12 miesięcy. Po upływie okresu gwarancyjnego, jeśli którekolwiek części ulegną uszkodzeniu i będą wymagały wymiany, obciążymy tylko kosztem zakupu.

Więcej produktów

Zapytanie

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Polityka prywatności

Zapytanie Email Whatsapp WeChat
Top
×

Skontaktuj się z nami