Urządzenie do czyszczenia plazmowego mikrofalowego / Urządzenie do obróbki powierzchni plazmowej mikrofalowej , China Urządzenie do czyszczenia plazmowego mikrofalowego / Urządzenie do obróbki powierzchni plazmowej mikrofalowej Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis produktu

Mikrofalowa maszyna do czyszczenia plazmowego

Do wstępnego przetwarzania przy klejeniu chipów półprzewodnikowych, wstępnego przetwarzania opakowań plastikowych, usuwania fotooporu, klejenia metali i wstępnego przetwarzania.

Jest to system niskonapięciowego czyszczenia plazmowego mikrofalowego dla półprzewodników. Poprzez zastosowanie mikrofal o częstotliwości 2,45 GHz do okna na ścianie próżniowej jamy generowany jest duży ciągły Plazma, a chip jest czyszczony przez wejście do jamy.

Zalety

1. Plazma jest niezarładzona i nie spowoduje uszkodzeń w obwodach
2. Utrzymuj niską temperaturę podczas procesu obróbki
3. Szybka prędkość reakcji i krótki czas reakcji
4. Bez elektrod, bez źródeł zanieczyszczeń, długie życie
5. Możliwość utrzymywania plazmy przy wysokim ciśnieniu
6. Połączenia mikrofalowe i obwody magnetyczne są zgodne
7. Niskie wymagania dotyczące napięcia samoblokującego
8. Źródło wysokiego napięcia i generator są odseparowane od siebie dla bezpieczeństwa
9. Sucha etching, brak źródła zanieczyszczeń

Zastosowanie

Wstępna obróbka łączenia chipów
Wstępne przetwarzanie przy łączeniu metalu
Przetwarzanie wstępnego przed hermetyzowaniem plastikowym
Aktywacja powierzchni płytek krzemu

Dual power supply technology Microwave +Bias RF:

Fale mikrofalowe osiągają doskonały współczynnik odpylenia i jednorodność (odpylenie fotoresystu), a radiofrekwencja bias zapewnia kierunkową energię kinetyczną dla ruchu plazmy. Technologia podwójnego zaopatrzenia w energię poprawia wydajność i efektywność odpylenia i etczowania półprzewodników.

Specyfikacja

Gospodarz plazmy próżniowej
Rozmiar urządzenia	1230X1800X1100mm (szerokość x wysokość x głębokość)
Waga	450 kg
Zapotrzebowanie na energię	AC380V, 50/60Hz, 5-przewodowy, 30A
Specyfikacja generatora plazmy
Zasilanie mikrofalowe	Moc	0~1250W
		Częstotliwość	2.45GHz
System próżniowy
Materiał	Stop aluminium (dostosowalna komora z nierdzewnej stali)
Grubość	25mm
Wewnętrzne wymiary jaskini	480mmX470mmX480mm
Miejsca pracy	6 sekcji magazynowych
ECR	Czasopismo z otworami zapewnia ulepszony efekt przetwarzania ECR
Możliwość plazmowa
Możliwość przetwarzania	krok 35μm wypukłość 40μm maksymalny rozmiar czypa 15X15mm

Pakowanie i Dostawa

Widok fabryczny

Profil Firmy

Minder-Hightech jest reprezentantem sprzedaży i serwisu w equipmencie dla przemysłu półprzewodnikowego i produktów elektronicznych. Od 2014 roku firma ta zobowiązała się do oferowania klientom Wyższej, Niezawodnej i Kompleksowej Oferty w zakresie wyposażenia maszynowego.

FAQ

1. O cenie:
Wszystkie nasze ceny są konkurencyjne i negocjowalne. Cena różni się w zależności od konfiguracji i złożoności dostosowywania urządzenia.

2. O próbkach:
Możemy udostępnić usługi produkcji próbek, ale mogą one wiązać się z pewnymi opłatami.

3. O Płatności:
Po potwierdzeniu planu musisz wpierw zapłacić nam zaliczkę, a fabryka rozpocznie przygotowanie towarów. Po gotowości urządzenia i po zapłaceniu reszty, wyślemy je.

4. O Dostawie:
Po ukończeniu produkcji sprzętu wyślemy Ci film akceptacyjny, możesz również przyjechać na miejsce, aby sprawdzić urządzenie.

5. Instalacja i Debugowanie:
Po przybyciu equipmentu do twojej fabryki możemy wysłać inżynierów do instalacji i debugowania equipmentu. Dla tej opłaty za usługę dostarczymy osobnego ofertę.

6. O gwarancji:
Nasze equipment ma okres gwarancji 12 miesięcy. Po upływie okresu gwarancyjnego, jeśli którekolwiek części ulegną uszkodzeniu i będą wymagały wymiany, obciążymy tylko kosztem zakupu.