Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Uzyskaj wycenę

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Strona Główna
O Nas
MH Urządzenia
Rozwiązanie
Użytkownicy Zagraniczni
Wideo
Skontaktuj Się Z Nami
Strona główna > PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F W pełni automatyczny układ ICP etching
  • MDICP-5000F W pełni automatyczny układ ICP etching
  • MDICP-5000F W pełni automatyczny układ ICP etching
  • MDICP-5000F W pełni automatyczny układ ICP etching

MDICP-5000F W pełni automatyczny układ ICP etching

Model: MDICP-5000F

Uzyskaj bezpłatną ofertę
MDICP-5000F W pełni automatyczny układ ICP etching
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Streszczenie wykonawcze:

Wyposażenie to dwupokojowy system próżniowy. Jeden pokój to komora wtrysku próbek, a drugi to komora etcząca. Blokada próżniowa została zainstalowana między komorą wtrysku próbek a komorą etczącą, a transport wtrysku próbek przeprowadza manipulator.
Urządzenie składa się przede wszystkim z systemu próżniowego, układu gazowego, układu elektrycznego, systemu sterującego, układu chłodzenia, mechanizmu podawania i pobierania folii, systemu alarmowego itp.

System wentylacyjny:

System składa się z wentylatora molekularnego o wydajności 600 L/s + zaimportowanego suchego wentylatora próżniowego o wydajności L/s do pompowania komory etczującej do wysokiej próżni. Pomiedzy wentylatorem molekularnym a komorą etczącą zainstalowano elektrodynamiczny regulator ciśnienia. Zaimportowany suchy wentylator jest wentylatorem wstępnych pomp komory etczającej oraz poprzednim wentylatorem wentylatora molekularnego. Używany jest również inny wentylator mechaniczny o wydajności L/s do próżniowania komory próbek. Do połączenia między wentylatorem mechanicznym a komorą próżniową oraz wentylatorem molekularnym używane są membrany z nierdzewnej stali, a zainstalowano elektromagnetyczny pneumatyczny blok zaworu.

System kontrolny stałego ciśnienia

Urządzenie jest wyposażone w system sterowania stałą presją z przepływem, a w linii wentylacji zainstalowano elektrycznie regulowaną zaworę. Poprzez pomiar przy użyciu manometru filmowego (części importowane) kontrolowana jest zawora, aby umożliwić osiągnięcie stałej presji w komorze próżniowej, co pozwala na poprawę stabilności procesu.

System kontrolny stałego ciśnienia

Urządzenie jest wyposażone w system sterowania stałą presją z przepływem, a w linii wentylacji zainstalowano elektrycznie regulowaną zaworę. Poprzez pomiar przy użyciu manometru filmowego (części importowane) kontrolowana jest zawora, aby umożliwić osiągnięcie stałej presji w komorze próżniowej, co pozwala na poprawę stabilności procesu.

System obwodowy gazowy

Dwa zestawy źródła mocy HF z automatycznym dopasowaniem.

System alarmowy

Wymagania dotyczące bezpieczeństwa urządzenia.
Specyfikacja
Imię i nazwisko
Spc
Marka
Nr./Szt.
Uwaga
Komora etczaca, rurociąg wentylacyjny, okno obserwacyjne, interfejs rezerwowy itp.
Standard
JSWN
1
Przeciwkoropyjny
Ramy, szafy elektryczne, klamry, elementy standardowe itp.
Standard
JSWN
1
System podnoszenia pokrywy komory etczacej
Standard
JSWN
1
Przeciwkoropyjny
Elektroda do etowania i system chłodzenia
Standard
JSWN
1
Przeciwkoropyjny
Pompa molekularna (prędkość odpychania 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Przeciwkoropyjny
Suszarka wejściowa (prędkość odpychania 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Przeciwkoropyjny
Pompa mechaniczna (prędkość odpychania 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Elektryczna zawór regulacyjny
DCQ-150
JSWN
1
Przeciwkoropyjny
Pneumatyczny zawór zamykający typu worekowy
KF40
JSWN
3
Przeciwkoropyjny
Wskazówka filmowa
KF16
INFICON
1
Przeciwkoropyjny
Kontroler przepływu masy
D07
Sevenstar
4
Przeciwkoropyjny
Pneumatyczny zawór membranowy
1/4″VCR
-
4
Przeciwkoropyjny
Rura z nierdzewnej stali, łącznik rur, itp.
1/4″VCR
-
4
Przeciwkoropyjny
Zasilanie RF / automatyczny dopasowywacz
-
Chiny(OptionalCROWN1310)
1
Zasilanie RF / automatyczny dopasowywacz
-
Chiny(OptionalCROWN1310)
1
Złożony manometr próżniowy
ZDF
RB
1
IPC
2U
Chiny
1
Ekran dotykowy LCD
17 cali.
Chiny
1
System sterowania PLC
S7-200
Siemens
1
System sterowania napędem elektrycznym
Standard
JSWN
1
Wykrywanie i system rurociągów wody chłodniczej
Standard
JSWN
1
Wykrywanie i system rurociągów powietrza skompresowanego
Standard
JSWN
1
Maszyna obiegu wody chłodniczej
Hx
Chiny
1
Kamera dostrzykowa etczująca
Standard
JSWN
1
Zamek próżniowy
Smc
Smc
1
System sterowania manipulatorem
Smc
Smc
1

Parametr techniczny poczty

1. Ograniczony próżniowy: Kamera etczująca 9.0×10-5Pa (Wilgotność wewnętrzna ≤55%)
Kamera próbkująca dostrzyku 6.0×10-1Pa
2. Materiał do etczu: Materiał Ⅲ, Ⅴ, Si, SiO2 itp.
3. Prędkość etczu: ~ 1μ/min
4. Jednorodność etczu: ≤±5％(zakres φ125mm)
6. Rozmiar elektrody: φ200mm

Często zadawane pytania

1. O cenie:

Wszystkie nasze ceny są konkurencyjne i negocjowalne. Cena różni się w zależności od konfiguracji i złożoności dostosowywania urządzenia.

 

2. O próbkach:

Możemy udostępnić usługi produkcji próbek, ale mogą one wiązać się z pewnymi opłatami.

 

3. O płatności:

Po potwierdzeniu planu musisz wpierw zapłacić nam zaliczkę, a fabryka rozpocznie przygotowanie towarów. Po gotowości urządzenia i po zapłaceniu reszty, wyślemy je.

 

4. O Dostawie:

Po ukończeniu produkcji sprzętu wyślemy Ci film akceptacyjny, możesz również przyjechać na miejsce, aby sprawdzić urządzenie.

 

5. Instalacja i Debugowanie:

Po przybyciu equipmentu do twojej fabryki możemy wysłać inżynierów do instalacji i debugowania equipmentu. Dla tej opłaty za usługę dostarczymy osobnego ofertę.

 

6. O gwarancji:

Nasze equipment ma okres gwarancji 12 miesięcy. Po upływie okresu gwarancyjnego, jeśli którekolwiek części ulegną uszkodzeniu i będą wymagały wymiany, obciążymy tylko kosztem zakupu.

 

7. Serwis gwarancyjny i pogwarancyjny:

Wszystkie maszyny mają okres gwarancji ponad jeden rok. Nasi inżynierowie techniczni są zawsze online i mogą zapewnić Ci usługi instalacji, uruchamiania oraz konserwacji urządzeń. Dla specjalistycznego i dużego sprzętu możemy zapewnić usługi instalacji i uruchamiania na miejscu.

Więcej produktów

Zapytanie

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone

Polityka prywatności

Zapytanie Email WhatsApp WeChat
GÓRA
×

SKONTAKTUJ SIĘ Z NAMI