Model: MDST-6100
Sucha popalaczka plazmowa ICP nadaje się do zastosowań takich jak usuwanie resztek (przetwarzanie wstępne i usuwanie pozostałości), usuwanie polimerów (PI, BCB, PBO) oraz usuwanie fotorezystu po implantacji jonowej; komora obsługuje próbki o średnicy 8 cali (z możliwością obsługi próbek o średnicy 4 i 6 cali).
Suchy plazmowy odtłuszczaacz fotorezystu ICP
Sucha popalaczka plazmowa ICP nadaje się do zastosowań takich jak usuwanie resztek (przetwarzanie wstępne i usuwanie pozostałości), usuwanie polimerów (PI, BCB, PBO) oraz usuwanie fotorezystu po implantacji jonowej; komora obsługuje próbki o średnicy 8 cali (z możliwością obsługi próbek o średnicy 4 i 6 cali).
Wygląd urządzenia podlega ciągłym ulepszeniom i dostosowaniom; decydujący jest rzeczywisty produkt wysyłany.
Zaleta:
Wysoki stopień jonizacji i rozkładu plazmy
Po obróbce plazmą powtarzalność jest wysoka
Suche trawienie, brak źródła zanieczyszczenia
Sterowanie ciśnieniem i temperaturą za pomocą zaworów motylkowych
Możliwość utrzymywania plazmy przy wysokim ciśnieniu
Oddzielenie źródła wysokiego napięcia od generatora jonów
Łącze mikrofalowe i obwód magnetyczny są kompatybilne
Możliwość spełnienia wymagań klienta
Niska temperatura podczas przetwarzania
Szybka prędkość reakcji i krótki czas reakcji
Model |
MDST6100 |
Źródło plazmy |
częstotliwości radiowych |
moc |
1000 W |
Zakres zastosowania |
8 cali (zgodny z 4 lub 6 calami) |
Rozmiar pudełka |
25 Pieces |
Wymiary ogólne |
L1696xS2170xW2146 mm |
System sterowania |
PLC |
System skrzynki materiałowej |
Automatyczna |
Rzeczywiste zdjęcia sprzętu:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
