Wysoka precyzja procesu Chemikalno-Mechanicznego Planarizowania CMP , China Wysoka precyzja procesu Chemikalno-Mechanicznego Planarizowania CMP Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis produktu

Wysoka Precyzja Urządzenia do chemiczno-mechanicznego wypłaszczywania (CMP)

Precyzyjne urządzenie CMP umożliwia efektywne usunięcie nadmiaru materiałów z powierzchni płytek krzemu oraz globalne wypłaszczywanie na nanometrowej skali dzięki synergii między chemicznym korozją a mechanicznym szlifowaniem.

Wielofunkcyjne urządzenie do chemicznego polerowania, specjalnie zaprojektowane dla zastosowań CMP i polerowania warstw pokrycia wymagających ścisłej dokładności geometrycznej i jakości powierzchniowej, które mogą osiągnąć poziom Ra poniżej nanometra.

To urządzenie może wykonywać precyzyjne polerowanie na poziomie nanometrów dla pojedynczych form, a także polerować cienkie płytki o średnicy do 8 cali. Ponadto może być również wykorzystywane w nietypowych zastosowaniach polerujących, takich jak polerowanie twardych podłoży, przygotowanie powierzchni Epi oraz poprawa recyklingu chipów.

Aby dostosować maszyny serii CDP do różnych materiałów i wymagań technologicznych, technicy projektują i customizują odpowiednie szablony polerujące zgodnie z wymaganiami technicznymi użytkownika, aby precyzyjnie spełniać wymagania procesu CMP. Obrazek po lewej stronie przedstawia zakres pojedynczej płytki o średnicy 8 cali.

Aby zapewnić dokładne mierzenie i kontrolę płyt lub urządzeń polerowanych na maszynach CDP, opracowaliśmy system EPD, którego program graficzny skanowania CDP zaprojektowany indywidualnie może działać na laptopach. Ten program monitoruje i graficznie przedstawia proces polerowania, a automatycznie zatrzymuje się po osiągnięciu punktu końcowego.

Zapobiegaj nadmiernej polerze. Skanowanie CDP może również służyć jako funkcja bezpieczeństwa. Jeśli wykryto zmiany w jakichkolwiek monitorowanych parametrach procesu, skanowanie CDP wyzwoli sygnał dźwiękowy, który pomoże zapobiec nadmiarowej polerce. Przykładami są zmiany prędkości nośnika od jej wartości ustawionej. System EPD zauważy tę sytuację, ponieważ poziom tarcia między poduszką a polowanym materiałem zmieni się w wyniku jakichkolwiek zmian w prędkości nośnika, co może zagrozić udanej planaryzacji płytki/wafera. W tym momencie system EPD wyemituje sygnał dźwiękowy przed usunięciem przyrządu z powierzchni poduszki, lub może być ustawiony na automatyczne wyłączenie.

System ACP może być lepiej wykorzystany w szerokim zakresie zastosowań, a wykres przedstawia wyniki testów procesu CMP dla tlenku krzemu, miedzi, nitru krzemu, aluminium-copper, germanu krzemu oraz wolframu.
Wykres pokazuje, że po procesie CMP WTWNU może osiągnąć 2,82%.

Zastosowanie

Planaryzacja płytek krzemowych
Planaryzacja związków II-V
Wygładzanie utlenków
Wygładzanie podłoża materiału podczerwonego
Wygładzanie podłoża z sapfiry, nitru gallu i karbideu krzemu, wygładzanie podłoża EPI
Zmniejszanie grubości waferów SOS i SOI do poniżej 20 mikronów
Inżynieria odwrotna hierarchiczna lub aplikacje FA

Specyfikacja

Zasilanie	220v 10A
Rozmiar wafera	4”/100mm 6”/150mm 8”/200mm 12”/300mm
Średnica dysku roboczego	520mm, 780mm
Prędkość dysku roboczego	0-120 obr./min
Prędkość uchwytu	0-120 obr./min
Częstotliwość oscylacji uchwytu	0-30spm
Ciśnienie na tyłach wafera	0-150psi
Ciśnienie w punkcie środkowym wafera	0-50psi
Czas zaczynający	0-10 h
Kanał karmienia	≥2
Prędkość posuwu	0-150ml/min

Pakowanie i Dostawa

Profil Firmy

Minder-Hightech jest reprezentantem sprzedaży i serwisu w equipmencie dla przemysłu półprzewodnikowego i produktów elektronicznych. Od 2014 roku firma ta zobowiązała się do oferowania klientom Wyższej, Niezawodnej i Kompleksowej Oferty w zakresie wyposażenia maszynowego.

FAQ

1. O cenie:
Wszystkie nasze ceny są konkurencyjne i negocjowalne. Cena różni się w zależności od konfiguracji i złożoności dostosowywania urządzenia.

2. O próbkach:
Możemy udostępnić usługi produkcji próbek, ale mogą one wiązać się z pewnymi opłatami.

3. O Płatności:
Po potwierdzeniu planu musisz najpierw zapłacić nam zaliczkę, a fabryka rozpocznie przygotowywanie towaru. Po gotowości
urządzenia i zapłaceniu reszty, wyślemy je.

4. O Dostawie:
Po ukończeniu produkcji sprzętu wyślemy Ci film akceptacyjny, możesz również przyjechać na miejsce, aby sprawdzić urządzenie.

5. Instalacja i Debugowanie:
Po przybyciu equipmentu do twojej fabryki możemy wysłać inżynierów do instalacji i debugowania equipmentu. Dla tej opłaty za usługę dostarczymy osobnego ofertę.

6. O gwarancji:
Nasze equipment ma okres gwarancji 12 miesięcy. Po upływie okresu gwarancyjnego, jeśli którekolwiek części ulegną uszkodzeniu i będą wymagały wymiany, obciążymy tylko kosztem zakupu.