Pełnie automatyczna jednoelementowa maszyna do czyszczenia talerzy Maszyna do czyszczenia talerzy
Cechy maszyny
Jedna, dwie i cztery jamy Silne możliwości procesowe, mogą wspierać aplikacje takie jak rozpoczęcie procesu na talerzyku krzemowym oraz czyszczenie procesowe Dobra spójność technologii międzyczypowej międ
Pola aplikacji
Usuwanie cząstek z powierzchni płytek krzemowych i złożonych o średnicy 4–8 cali.
Parametry techniczne
jama szczotkowa 4-calowa, 6-calowa, 8-calowa Prędkość spinnera do 4000 RPM Kamera szczotkowa podwójnego ramienia, dostępna w metodach: Brush, AS, JET, Megasonics Może obsługiwać funkcję czyszczenia ciekłego
LoadPort jednostka, jednostka ładowania
LoadPort to jednostka ładowania tego urządzenia
Może wykonywać mapowanie talerzyków (Wafer Mapping) Wyposażony w detekcję slajdu talerzyka
Jednostka Transfer Robot
Robot Dual Blade, opcjonalnie z próżnią lub ostrzami typu taca.
Jednostka wyrównywania i obracania
Może wyrównywać i lokalizować płaskie krawędzie Płytka może zostać obrócona, aby oczyszczać tył krystalu
Jednostka czyszcząca szczotkami
Ilość ramion szczotkujących * 2 Uchwyt dla płytek: imadło czy typ ssący Szczotka, tryby czyszczenia AS, JET, Megasonics, wspierające czyszczenie farmaceutyczne
1. Obsługuje jednoczesne wprowadzanie i wydawanie płytek, oraz tryb wejścia A i wyjścia B 2. Może wspierać czyszczenie przodu komory A i tyłu komory B 3. Może wspierać jednoczesne czyszczenie dwóch komór
Opis jednostki szczotkowej
Jak pokazano na rysunku Wafer zamocowany na górze Spinnera
Ramię1&Ramię2 mogą być używane w połączeniu z różnymi metodami czyszczenia opisane wcześniej do czyszczenia waferów.
Po czyszczeniu, Spinner obraca się z wysoką prędkością, aby obrócić i wysuszyć wafer
Jednostka wyrównywania i obracania
Wafer może być używany w celach mieszkalnych i wyrównawczych
Wafer może zostać odwrócony
Rozmiar urządzenia: 160x150x220 (mm) Metody ładowania i rozładunku: ten sam wejście i wyjście & A wejście i B wyjście Liczba jednostek czyszczących: 2 Tryby czyszczenia: Czyszczenie szczoteczkowe, AS, JET, Megasonics, wspierające metody czyszczenia farmaceutyczne
Pakowanie i Dostawa
Często zadawane pytania
1. O cenie: Wszystkie nasze ceny są konkurencyjne i negocjowalne. Cena różni się w zależności od konfiguracji i złożoności dostosowywania urządzenia.
2. O próbkach: Możemy udostępnić usługi produkcji próbek, ale mogą one wiązać się z pewnymi opłatami.
3. O Płatności: Po potwierdzeniu planu musisz najpierw zapłacić nam zaliczkę, a fabryka rozpocznie przygotowywanie towaru. Po gotowości urządzenia i zapłaceniu reszty, wyślemy je.
4. O Dostawie: Po ukończeniu produkcji sprzętu wyślemy Ci film akceptacyjny, możesz również przyjechać na miejsce, aby sprawdzić urządzenie.
5. Instalacja i Debugowanie: Po przybyciu equipmentu do twojej fabryki możemy wysłać inżynierów do instalacji i debugowania equipmentu. Dla tej opłaty za usługę dostarczymy osobnego ofertę.
6. O gwarancji: Nasze equipment ma okres gwarancji 12 miesięcy. Po upływie okresu gwarancyjnego, jeśli którekolwiek części ulegną uszkodzeniu i będą wymagały wymiany, obciążymy tylko kosztem zakupu.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
