Składa się z zasilacza jonowego, systemu próżniowego, systemu dozowania gazu, systemu sterowania automatycznego oraz innych elementów. Podstawowa zasada działania polega na tym, że w warunkach próżni plazma może jonizować gaz w sposób kontrolowany i jakościowy. Pompa próżniowa służy do odpompowania powietrza z komory roboczej do ciśnienia próżni wynoszącego 10–40 Pa, po czym gaz jest jonizowany pod wpływem generatora wysokiej częstotliwości, co prowadzi do powstania plazmy (czwartego stanu materii). Charakterystyczną cechą tego procesu jest wysoka jednorodność wyładowania świetlnego typu glow discharge; w zależności od rodzaju gazu emitowane jest barwne światło widzialne – od niebieskiego do ciemnofioletowego. Temperatura przetwarzania materiału jest zbliżona do temperatury pokojowej. Te wysokoaktywne cząstki oddziałują z obrabianą powierzchnią, umożliwiając uzyskanie różnych modyfikacji powierzchni, takich jak zwiększenie hydrofilowości lub hydrofobowości, obniżenie współczynnika tarcia, intensywne czyszczenie, aktywacja oraz trawienie.
Zalety obróbki plazmą: 1. Technologia ochrony środowiska: Proces działania plazmy to spójna reakcja w fazie gaz-ciało stałe, która nie zużywa zasobów wody, nie wymaga dodawania chemikaliów i nie zanieczyszcza środowiska. 2. Uniwersalność: można przetwarzać dowolny rodzaj podłoża, np. metale, półprzewodniki, tlenki oraz większość materiałów polimerowych – wszystkie te materiały nadają się do skutecznego przetwarzania; 3. Niskotemperaturowość: temperatura procesu jest zbliżona do temperatury otoczenia, co czyni go szczególnie odpowiednim dla materiałów polimerowych; zapewnia dłuższy czas przechowywania oraz wyższe napięcie powierzchniowe niż metody koronowe i płomieniowe. 4. Silne działanie funkcjonalne: proces obejmuje jedynie powierzchnię materiału polimerowego (głębokość 10–1000 Å), nadając mu jedną lub kilka nowych funkcji przy jednoczesnym zachowaniu własnych cech materiału; 5. Niskie koszty: urządzenie jest proste w budowie, łatwe w obsłudze i konserwacji oraz umożliwia pracę ciągłą. Często kilka butelek gazu może zastąpić tysiące kilogramów cieczy do czyszczenia, dzięki czemu koszty czyszczenia są znacznie niższe niż w przypadku metod mokrych. 6. Kontrolowalność procesu na każdym etapie
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA



























