Wytaczanie materiału Osadzanie Reakcja Trawienie jonowe Maszyna do trawienia plazmowego RIE , China Wytaczanie materiału Osadzanie Reakcja Trawienie jonowe Maszyna do trawienia plazmowego RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis produktu

Maszyna do trawienia reakcyjnego jonowego RIE

Zastosowanie maszyn do trawienia reakcyjnego jonowego RlE w dziedzinie produkcji półprzewodników i przetwarzania mikro- i nanostruktur znajduje swoje odzwierciedlenie głównie w przetwarzaniu struktur na poziomie nanometrowym, trawieniu nowych materiałów, wytwarzaniu złożonych urządzeń oraz przełomach w technologiach interdyscyplinarnych. Jej podstawowa wartość polega na osiąganiu wysokiej precyzji i selektywności w usuwaniu materiału poprzez skoordynowaną kontrolę bombardowania fizycznego i reakcji chemicznych. Wspiera badania na froncie technologii półprzewodnikowych oraz innowacje urządzeń.

Cechy wyposażenia:

1. Wysoka precyzja i anizotropia: umożliwia trawienie wzorów o stromych ściankach bocznych i dokładnych wymiarach.
2. Dobra jednorodność i powtarzalność: odpowiednia do produkcji masowej.
3. Szeroka przydatność materiałów: Poprzez dobór różnych kombinacji gazów można trawić różne materiały (półprzewodniki, dielektryki, metale itp.).
4. Wysoki stosunek selektywności: Umożliwia precyzyjne trawienie określonych materiałów bez powodowania znacznego uszkodzenia innych materiałów.
5. Czyszczenie: Proces suchy, unikanie problemów związanych z czyszczeniem i utylizacją cieczy odpadowej powstającej przy trawieniu mokrym.

Specyfikacja

Konfiguracja systemu:

Ogrzewanie elektryczne	Komora (jednokomorowa)
Ogrzewanie elektryczne		N/D
Typ dolnej elektrody	242mm
Zakres temperatury procesowej	-20-100°C
Źródło plazmy	600W-1000W
Wielkość manometru procesowego	100mtorr
System próżniowy	Jednostki pompy molekularnej, systemy pompy suchej, komora procesowa
Liczba komór trawienia	Jednokanałowy
Imadła	Typ	Rozmiar/mm	Materiał
Imadła		N/D	8、6、4、3、2
Detektor punktu końcowego	Opcja
Indukcyjnie sprzężona plazma	Opcja

Parametry techniczne:

Materiał do graveowania	Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Szybkość trawienia	>20 nm/min (materiał SiO2), szybkości dla różnych materiałów są różne
Kontrola rozproszona	>85°
Metoda załadunku	Wersja z otwartym ładowaniem
Rurociąg gazowy sterowany przez MFC	Dostępne są sześć zbiorników gazowych
Opcja chłodzenia tylnego strony heliem	Tak
Interfejs człowiek-maszyna	Obsługa dotykowa
Tryb pracy	Tryb w pełni automatyczny, tryb niecałkowicie automatyczny
Wybór i konfiguracja urządzeń automatycznych	Można wybrać części importowane lub krajowe

Wnioski

Pakowanie i Dostawa

Profil Firmy

Od 2014 roku firma Minder-Hightech jest przedstawicielem sprzedaży i serwisu w przemyśle półprzewodnikowym i elektronicznym. Prowadzimy działalność w zakresie dostarczania klientom wysokiej jakości, niezawodnych i kompleksowych rozwiązań dla urządzeń maszynowych. Do dziś nasze produkty z marką rozprzestrzeniły się do głównych krajów uprzemysłowionych na całym świecie, pomagając klientom w zwiększaniu efektywności, obniżaniu kosztów i poprawie jakości produktów.

Często zadawane pytania

1. O cenie:
Wszystkie nasze ceny są konkurencyjne i negocjowalne. Cena różni się w zależności od konfiguracji i złożoności dostosowywania urządzenia.

2. O próbkach:
Możemy udostępnić usługi produkcji próbek, ale mogą one wiązać się z pewnymi opłatami.

3. O płatności:
Po potwierdzeniu planu musisz wpierw zapłacić nam zaliczkę, a fabryka rozpocznie przygotowanie towarów. Po gotowości urządzenia i po zapłaceniu reszty, wyślemy je.

4. O Dostawie:
Po ukończeniu produkcji sprzętu wyślemy Ci film akceptacyjny, możesz również przyjechać na miejsce, aby sprawdzić urządzenie.

5. Instalacja i Debugowanie:
Po przybyciu equipmentu do twojej fabryki możemy wysłać inżynierów do instalacji i debugowania equipmentu. Dla tej opłaty za usługę dostarczymy osobnego ofertę.

6. O gwarancji:
Nasze equipment ma okres gwarancji 12 miesięcy. Po upływie okresu gwarancyjnego, jeśli którekolwiek części ulegną uszkodzeniu i będą wymagały wymiany, obciążymy tylko kosztem zakupu.

7. Serwis gwarancyjny i pogwarancyjny:
Wszystkie maszyny mają okres gwarancji ponad jeden rok. Nasi inżynierowie techniczni są zawsze online i mogą zapewnić Ci usługi instalacji, uruchamiania oraz konserwacji urządzeń. Dla specjalistycznego i dużego sprzętu możemy zapewnić usługi instalacji i uruchamiania na miejscu.