





|
Plasma
|
RF
|
RF
|
||
|
Effekt
|
ICP
|
1000W
|
1000W
|
|
|
BIAS
|
600w(valgfri)
|
600w(valgfri)
|
||
|
Anvendelsesområde
|
4~8 tommer
|
4~8 tommer
|
||
|
Antall enkeltbehandleslice
|
1
|
2
|
||
|
Utseende
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
|
Systemkontroll
|
Industriell Kontrollsystem
|
Industriell Kontrollsystem
|
||
|
Automatiseringsnivå
|
automatisk
|
automatisk
|
||









Opphavsrett © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheter forbeholdt