Lever tilføyelig RTP-utstyr for sammensatte halvledere, SlC, LED og MEMS
Industriapplikasjoner
* Annering av silisidalloy * Oksidasjon returstrøm * Gallium arsenide-prosess * Andre rask varmebehandlingsprosesser
Spesifikasjon
Testavtale
Samfall av 20. grad kurver
20 kurver for temperaturkontroll ved 850 ℃
Samfall av 20 gjennomsnittstemperaturkurver
temperaturkontroll ved 1250 ℃
RTP temperaturkontroll prosess på 1000 ℃
prosess ved 960 ℃, kontrollert av infrarød pyrometer
LED-prosessdata
RTD Wafer er en temperatursensor som bruker spesialteknikker for å integrere temperatursensorer (RTDs) på bestemte steder på overflaten av en vafer, noe som gjør det mulig å måle overflate temperaturen i sanntid på vafen.
Reelle temperaturmålninger på spesifikke steder på vafen og den generelle temperaturoppdelingen på vafen kan oppnås gjennom RTD Vafer; Den kan også brukes til kontinuerlig overvåking av midlertidige temperaturendringer på vafene under varmebehandlingsprosessen.
Pakking & Levering
Selskapsprofil
Vi har 16 års erfaring med utstyrssalg. Vi kan tilby deg en fulltjenesteløsning for Semiconductor frontend og back end Pakkingslinjeutstyr fra Kina!
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
