Presisjons-CMP-system

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Presisjons-CMP-system

Utstyllingsoversikt:

Presisjons-CMP-system brukes hovedsakelig til slifing og uttynning av viktige halvlederchips, som silisium-, silisiumdioxid- og indiumantimonid-fokalplanchips, samt kjemisk-mekanisk polering av bunn-, overflate- og endeflater.

Hele maskinen og alle deler av utstyret er fullstendig korrosjonsbestandige, og prosessparametrene kan stilles inn via en berøringsbasert skjerminterface.

Behandlingsbar prøvestørrelse:

Prøvestørrelse ≤ 152 mm / 6 tommer

Behandlingsbar tykkelse er 50 μm til 10 mm

Oppnåelige prosessindikatorer:

1. Total tykkelsesavvik (TTV) for φ75 mm wafer er innenfor 2 μm;

2. Total tykkelsesavvik (TTV) for φ100 mm wafer er innenfor 3 μm;

3. Total tykkelsesavvik (TTV) for φ150 mm wafer er innenfor 4 μm.

Typer av prøver som kan behandles:

Silisium, silisiumkarbid, diamant, keramikk, galliumnitrid, kvarts, galliumantimonid, indiumfosfid, galliumarsenid, kadmiumsinktellurid, kvikksølvkadmiumtellurid, litiumniobat og andre halvledermaterialer.

Utstyrsfunksjoner:

1. Realisere funksjonen for endepunktdeteksjon for å styre prøvens tykkelse.

2. Online, sanntidskontroll og kjøling av slipeskive- og poleringskivens temperatur.

3. Flerekanalig tilførselssystem.

4. Automatisk skyllingsfunksjon for slipeskive og poleringskive.

5. Automatisk repareringsfunksjon for skiven.

6. Fiksturen er utstyrt med et digitalt tykkelsesovervåkningsbord med en overvåkningsnøyaktighet på 0,1 μm.

Tekniske parametrar:

Enhetskonfigurasjon:

Ofte stilte spørsmål

1. Om prisen:

Alle våre priser er konkurransedyktige og forhandlingsmessige. Prisen varierer avhengig av konfigurasjonen og tilpassingskompleksiteten på enheten din.

2. Om eksempel:

Vi kan levere eksempelproduksjonservices for deg, men du må betale noen gebyrer.

3. Om betaling:

Etter at planen er bekreftet, må du først betale en nedbetaling, og fabrikken vil begynne å forberede varene. Når utstyret er klart og du har betalt resten, vil vi sende det.

4. Om levering:

Etter at produksjonen av utstyr er ferdig, vil vi sende deg akseptansekvideoen, og du kan også komme til stedet for å inspisere utstyret.

5. Installasjon og feilsøking:

Etter at utstyret har ankommet fabrikkene dine, kan vi sende ingeniører for å installere og调试utstyret. Vi vil gi deg en separat tilbud for denne tjenestekostnaden.

6. Om garanti:

Vårt utstyr har en garanti på 12 måneder. Etter garantiavgangen, hvis noen deler blir skadet og må byttes ut, vil vi bare beregne kostprisen.

7. Etter salgs service:

Alle maskiner har en garantiperiode på over ett år. Våre tekniske ingeniører er alltid tilgjengelige for å gi deg installasjon, oppstart og vedlikeholdstjenester for utstyr. Vi kan tilby montering og oppstartstjenester på stedet for spesielle og store utstyr.