Apparaatkenmerken
1. Deze apparatuur is ontworpen voor het lasertrimmen van hoogwaardige halfgeleiderwafers.
2. Voorzien van een uit de Verenigde Staten geïmporteerde laser, die buitengewone stabiliteit biedt tijdens het lasertrimmen.
3. Voorzien van een anti-interferentie, hoogprecies lineaire motor XY-stage met een schuifmaat, waardoor machine-geïnduceerde interferentie op producten effectief wordt verminderd.
4. Voorzien van een CCD-camera met een resolutie van 12 megapixel voor nauwkeurige positionering.
5. Voorzien van achromatische beeldvormingstechnologie en mogelijkheden voor positionering op basis van beeldherkenning.
6. Voorzien van GPIB en andere externe interfaces om externe instrumenten aan te sluiten voor meting of weerstandsinstelling.
7. Marmeren onderstel zorgt voor uitstekende machine-stabiliteit.
Technische Parameters
Model |
MDSG-LT74 |
Laser Golflengte |
1064/355 nm |
Laser Power |
6W/4W |
Typische vlekformaat |
25-35μm |
Focusmethode |
Automatisch, via computerprogramma gestuurd. |
Koelmethode |
Luchtkoeling |
Bereik van de laserstraalbeweging |
27 mm × 27 mm |
Bewegingsresolutie |
0.76μm |
Herhaalpositie nauwkeurigheid |
±2,5 µm |
Bewegingsmodus |
Lineaire motor met interferentiebestendige rasterliniaal |
Bewegingsbereik) |
300 mm × 300 mm |
Herhaalpositie nauwkeurigheid |
±1 µm |
Methode voor weerstandsmeting |
vierdraadsmeting |
Nauwkeurigheid van de weerstandsmeting |
±0,02 % (gemiddelde weerstand) |
Weerstandmeting bereik |
0.1ω–50 MΩ |
Meetsnelheid |
4 µs/meeting |
Nul- en volledige schaal foutcorrectie |
Automatische correctie |
Proefdefinitie |
Programmeerbare willekeurige instelling |
Interface |
GPIB |
Apparaatafmetingen |
1430 x 913 x 1747 mm |
Gewicht |
617 kg |
Bedrijfsomstandigheden (water, elektriciteit, gas) |
Vochtigheid: <70%; Voeding: wisselstroom 220 V, 2,5 kW; Perslucht: <0,6 MPa, <40 l/min |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rechten voorbehouden
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
