Reaktyvusjono erzijimo sistema RIE , China Reaktyvusjono erzijimo sistema RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Produkto aprašymas

Reaktyvusjono erzijimas (RIE)

Reaktyvusjono etagingas (RIE) gali būti naudojamas micro-nano struktūrų gamybai ir yra vienas puslaidinio gamybos procesų technologijų. Per RIE etagingo proceso metus plazmoje esančios įvairios aktyvios dalelės su medžiagos paviršiu formuoja drąsius produktus. Šie produktai išimami iš medžiagos paviršiaus, ir galiausiai pasiekiamas anizotropinis medžiagos paviršiaus mikrostruktūros etagingas. Reaktyvusjono etateris (RIE) serijos produktai pagrįsti lygiagrečios plokštės kapacitiniu plazmos jungimu ir tinka šablonizuotam etatingui stikliavimo medžiagoms, tokia kaip viengryniais siliciumas, daugiagrynis siliciumas, silicio nitratas (SiNy), silicio oksidas (SiO), kvartas (Quartz) ir silicio karbidas (SiC); jie gali būti naudojami organinėms medžiagoms, tokioms kaip fotorezistai (PR), PMMAHDMS ir kitoms medžiagoms skirtoms šablonavimui ir medžiagų sluoksnio atmetimui; jie gali būti naudojami metalinėms medžiagoms, tokioms kaip niklas (Ni), chromas (Cr) ir keramikos medžiagoms fiziniam etatingui; jie gali būti naudojami temperatūros kambariams indies fosfido (InP) medžiagoms etatingui. Kai kuriais etagingais, kuriems reikalingas aukštesnis procesų lygis, mūsų ICP RIE etatingas taip pat gali būti naudojamas.

Pagrindinė konfigūracija:

1. Pripažintos probų dydžio palaikymas: 4, 8, 12 coliai, suderinamas su įvairiais mažais probų dydžiais, palaiko individualinį pritaikymą
2. RF plazmos galios diapazonas: 300/500/1000 W pagal pasirinkimą;
3. Molekulinis pompa: 620/1300 //s pagal pasirinkimą, korozijos atsparus pompos rinkinys pagal pasirinkimą;
4. Pirminė pompa: mechaninė aliejus pompa/sausioji pompa pagal pasirinkimą;
5. Slėgio kontrolė: 0 ~ 1 Torr pasirinktinai; konfigūracija be slėgio kontrolės taip pat gali būti pasirinkta,
6. Procesų dujos: kartu gali būti įrengtos iki 9 procesų dujų; temperatūra: 10 laipsnių ~ ambiento temperatūra / -30 laipsnių ~ ambiento temperatūra / pritaikoma temperatūros diapazonas,
7. Pagal naudojimo tikslą gali būti sukonfiguruotas atogravimas su heliumo šaldymu;
8. Nuimamas taršos apsauginis sluoksnis;
9. Pasirinktinai galima įdiegti apkrovimo uždarymą;
10. Pilnai automatinis vieno mygtuko valdymo sistemos;

RIE Taikomi medžiagų:

1. Silicio pagrindu medžiagos: silis (Si), siliko dvideginis (SiO2), siliko nitridas (SiNx), siliko karbidas (SiC)
2. III-V medžiagos: indijaus fosfidas (InP), galio arsenidas (GaAs), galio nitridas (GaN)
3. II-VI medžiagos: kadmio teluridas (CdTe)
4. Magnetiniai medžiagos/ligavinių medžiagų
5. Metalinės medžiagos: aliuminimas (AI), ausis (Au), volframasis (W), titanis (Ti), tantalis (Ta)
6. Organinės medžiagos: fotorezistai (PR), organinis polimeras (PMMA/HDMS), org

RIE susijęs programinė įranga:

1. Silicio pagrindinių medžiagų ištrauka, nanouraidos šablonai, masyvai ir lęšų šablonai;
2. Temperatūros kambario etavimas indijaus fosfido (InP), InP pagrindinių įrenginių suformuotas etavimas optinėje ryšių srityje, įskaitant bangų vadingus struktūras, rezonanso kamos struktūras ir smailumą apimtines struktūras;
3. SiC medžiagų etavimas, tinkamas mikrobangų įrenginiams, jėgos įrenginiams ir kt.;
4. Fizinis sprogimo etavimas taikomas tam tikriems metalams, pvz., nikeliui (Ni), chromui (Cr), keramikai ir kitoms fiziniam bumbienimui per sunkiai cheminai etuojamoms medžiagoms, bei pasiekiama medžiagų suformuotas etavimas per fizinių veiksnių poveikį;
5. Organinės medžiagos etavimas naudojamas organinių medžiagų, tokių kaip fotorezistuočių (Photo Resist), PMMA, HDMS, Polimerų etavimui, valymui ir šalinimui;
6. Sluoksnio nuvalymo etavimas skilties analizei (Failure Analysis-FA);
7. Dviejų dimensijų medžiagų etlingas: W, Mo dviejų dimensijų medžiagos, grafenas;

Taikymo rezultatai:

Projekto konfigūracija ir stalo struktūros diagrama

Prekė	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Produkcijos dydis	≤6 colpių	≤8 colpių	≤8 colpių
RF jėgos šaltinis	0-300W/500W/1000W Reguliuojamas, automatinis derinys
Molekulinis pompa	-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom			Antiseptinis620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom
Priešpompa	Mechaninė pompa\/sausioji pompa			Sausas siurblys
Procesų slėgis	Nekontroliuojamas slėgis\/0-1Torr kontroliuojamas slėgis
Dužių tipas	H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Custom (Iki 9 kanalų, be korozijos ir toksinių dujų)			H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Iki 9 kanalų)
Dujinė viryklė	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/pasirinkimas
Įkrovimo uždarymas	Taip/Nieko			Taip
Pavyzdžio temperatūros valdymas	10°C~Gamto temperatūra/-30°C~100°C/Pasirinkimas			-30°C~100°C /Pasirinkimas
Atgalinis heliumo šaldymas	Taip/Nieko			Taip
Procesų kavos apvokimas	Taip/Nieko			Taip
Kavos sienos temperatūros valdymas	Nieko/Gamto temperatūra~60/120°C			Temperatūra kambario -60/120°C
Valdymo sistema	Automatinis/pasirinkimas
Šlifavimo medžiaga	Silikono pagrindinė: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Magnetiškos medžiagos/aljaus medžiagos Metalinė medžiaga: Ni/Cr/Al/Au..... Organinė medžiaga: PR/PMMA/HDMS/Organinė plasta......			Silikono pagrindinė: Si/SiO2/SiNx...... III-V( pastaba 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (pastaba 3): CdTe...... Magnetiškos medžiagos/aljaus medžiagos Metalinis medžiaga: Ni/Cr/Al/Au...... Organinė medžiaga: PR/PMMA/HDMS/organinis filmas...

Realūs vaizdai iš laboratorijų ir gaminių

Pakavimas ir pristatymas

Įmonės Profilis

Minder-Hightech yra pardavimų ir paslaugų atstovas semišvarstyklių ir elektroninių produktų pramonės įrangos srityje. Nuo 2014 m., įmonė sutelkusi dėmesį į klientams teikiamų Geresnių, Patikimų ir Viso Jei Viename Vietaje Sprendimų įrangos įrenginiams.

DAK

1. Apie kainą:
Visos mūsų kainos yra konkurencingos ir deramomos. Kaina skiriasi priklausomai nuo jūsų įrenginio konfigūracijos ir personalizacijos sudėtingumo.

2. Apie pavyzdį:
Galime jums teikti pavyzdžių gamybos paslaugas, tačiau jūs turėtumėte sumokėti kai kokių mokestinių.

3. Apie mokėjimą:
Po plano patvirtinimo, jūs privalote mums iš anksto užmokėti užpildymo sumą, o gamykla pradės paruošti prekes. Kai bus pasiruošusi įranga ir jūs sumokosite likusią sumą, mes ji siųsime.

4. Apie pristatymą:
Kai bus baigta įrangos gamyba, mes jums nusiųsiame priėmimo vaizdo įrašą, o jūs taip pat galite atvykti į vietą, kad inspekciją atliktumėte.

5. Montavimas ir derinimas:
Kai įranga bus pristatyta į jūsų gamyklą, mes galime išsiųsti inžinierius montuoti ir derinti įrangą. Šios paslaudos kainą mes jums pateiksime atskiroje kainodarboje.

6. Apie garantiją:
Mūsų įranga turi 12-mėnesio garantijos laikotarpį. Po garantijos termino, jei kurie nors detales bus sugedę ir reikalingas jų pakeitimas, mes tik sumokinsime kainą už medžiagą.

Pagrindinis puslapis

Apie mus

MH Equipment

Sprendimas

Užsienio naudotojai

Vaizdo įrašas

Susisiekite Su mumis

Reaktyvusjono erzijimo sistema RIE

Reaktyvusjono erzijimas (RIE)

Pagrindinė konfigūracija:

RIE Taikomi medžiagų:

RIE susijęs programinė įranga:

Daugiau produktų

MD-FS serijos kondensatoriaus suvijimo aparatas

MD-FDS serijos automatinis kondensatoriaus suvijimo aparatas

MD-EFS serijos kondensatorių suvijimo aparatas

MD-EDFS Serijos Filmų Kondensatorius Suktuvimo Masina

Užklausa

Articles

Products

Get In Touch

Reaktyvusjono erzijimo sistema RIE

Reaktyvusjono erzijimas (RIE)

Pagrindinė konfigūracija:

RIE Taikomi medžiagų:

RIE susijęs programinė įranga:

Daugiau produktų

Užklausa

Articles

Products

Get In Touch

Susisiekite su mumis