Įvadas:
Magnetroninis dulkių dėjimo įrenginys yra specialus mūsų įmonės sukurtas laboratorinis dėjimo prietaisas. Šis įrenginys gali būti komplektuojamas nuolatinės srovės (DC) ir radio dažnio (RF) maitinimo šaltiniu. Galia svyruoja nuo 500 W iki 1000 W. Palyginti su įprastiniu plazminiu dulkių dėjimu, magnetroninis dulkių dėjimas turi privalumų: aukštesnė energija, didesnis greitis, didesnis nuosėdų kiekis ir mažesnis bandymo pavyzdžio temperatūros pakilimas. Magnetroninė taikinio plokštė yra aprūpinta vandeniu aušinama tarpine. Vandens aušintuvas efektyviai pašalina šilumą ir neleidžia šilumos kaupimuisi ant taikinio paviršiaus, todėl magnetroninis dėjimas gali ilgą laiką veikti stabiliai. Kompiuterizuoto dizaino dėka pasiektas balansas tarp įrenginio tūrio ir jo techninių charakteristikų, išvaizda – patraukli, o funkcionalumas – išsamus. Visas įrenginys valdomas per lietimui jautrią ekraną ir įmontuotą vieno mygtuko dėjimo programą, todėl jį labai paprasta naudoti, o tai daro jį puikiu įrenginiu plonų plėvelių gamybai laboratorijoje.
Taikymas:
Galima naudoti vieno ar daugiasluoksnio feroelektrinių plonų plėvelių, laidžiųjų plėvelių, lydinių plėvelių, puslaidininkių plėvelių, keraminės plėvelės, dielektrinės plėvelės, optinės plėvelės ir kt. paruošimui.