Įvadas:
Dvigubo tikslo magnetroninis dulkių dėjimo įrenginys – tai mūsų įmonės sukurtas laboratorinis specializuotas dėjimo įrenginys su dviem taikinio pozicijomis. Įrenginys aprūpintas nuolatinės srovės maitinimo šaltiniu ir radijo dažnio maitinimo šaltiniu. Palyginti su įprastiniu plazminiu dulkių dėjimu, magnetroninis dulkių dėjimas turi privalumų: aukšta energija ir didelis greitis, aukštas dėjimo našumas, todėl tai tipiškas aukšto greičio žemo temperatūros dulkių dėjimas. Magnetrono taikinys aprūpintas vandeniu aušinamu tarpiniu sluoksniu. Vandens aušintuvas efektyviai pašalina šilumą ir neleidžia šilumos kaupimuisi taikinio paviršiuje, todėl magnetroninis dėjimas gali ilgą laiką veikti stabiliai. Šio modelio pavyzdžių stovas yra grįžtamojo judėjimo konstrukcijos, kairėje pusėje įrengtas magnetinis jungiamasis stumdomasis strypas, kuris gali stumti pavyzdžių stalą į kairę ir į dešinę. Visas įrenginys valdomas per lietimui jautrią ekraną, kuriame įmontuota vieno mygtuko dėjimo programa – paprasta ir lengva valdyti, todėl tai puikus įrenginys plonų plėvelių paruošimui laboratorijoje.
Taikymas:
Galima naudoti vieno ar daugiasluoksnio feroelektrinių plonų plėvelių, laidžiųjų plėvelių, lydinių plėvelių, puslaidininkių plėvelių, keraminės plėvelės, dielektrinės plėvelės, optinės plėvelės ir kt. paruošimui.