Tikslus smaldymo ir poliavimo aparatas MDAM-CMP100/150, pagrindinė vieneta ir visi pakeičiami detailiai gaminti iš aukštos korozijos varžymo medžiagų. Visas aparatas yra korozijos-tikras, stabilus, izlaidingumas subornamas ir nerūdijantis, tinkamas įvairių poluprovodnikų medžiagų cheminiam mechaniniui smaldymui ir poliavimui. Darbo erdvė atskirta nuo vaizdo valdymo zonos ir skaitmeniniu būdu valdoma naudojant lietimosi ekraną. Jis yra CNC valdomas, galima saugoti ir ištraukti duomenis.
Įrenginio sistema turi laiko nustatymo funkciją, kuri gali dirbti toliau 10 valandų ir kontroliuoti smulkinimo disko greičio. Valdymo skydelis yra įmontuotas už darbo zonos ribų, kad būtų išvengta smulkesių spalvų dengiančių valdymo skydelį. Visi pagrindinio įrenginio parametrai gali būti sutinkami naršant ant lietaus ekranui. Pagrindinio proceso parametrai turi saugojimo ir atkūrimo funkcijas, kad būtų užtikrintas proceso nuoseklumas ir pakartojamumas. Skysties imitavimo pavyzdys yra adsorbuojamas į fiksuotojo apatinę paviršių vakuumu, kuriam priskirtas vakuumo pompa be olėjų ir nepriklausminga atvirkštinės sūčio funkcija.
Demonstracinė talpa su horizontaliosios sukimosi varomuoju sistemos gali turėti klestėjimo funkciją, kurios apimtis yra 0-100% reguliuojama. Klestėjimo amplitudė ir dažnis greičio gali būti tiksliai nustatyti per valdymo skydą. Talpa yra apgintas nepriklausantais sukimosi varomuoju sistema, kuri turi reguliuojamą greičio diapazoną nuo 0 iki 120 poslinkių per minutę. Šis funkcionalus dizainas užtikrina pilną klestėjimo glodinimą per šlifavimo ir glodinimo procesą, didindamas įrenginio glodinimo pajėgumus ir efektyvumą.
Talpa yra apginta skaitmenine storio stebėjimo lentele su stebėjimo tikslumu 1 μ m. Talpos spaudimas ant plieno pavyzdžio yra tolygiai reguliuojamas, su spaudimo diapazonu nuo 0 iki 3,5 kg ir tikslumu 2 g/cm², o kartu yra apginta spaudimo matavimo įrenginiu.
Šlifavimo ir poliravimo disko valdymas vykdomas pagrindiniu varikliu, o disko sukimosi dažnį galima reguliuoti nuo 0 iki 120 apsisukimų per minutę. Šis sukimosi dažnio keitimo diapazonas efektyviai užtikrina įvairių kietumo ir dydžio medžiagų pavyzdžių šlifavimo ir poliravimo greitį, todėl pasiekiami geresni technologiniai rodikliai.
Šlifavimo ir poliravimo diskų keitimas yra paprastas ir greitas, o įmontuoti diskai leidžia įrenginiui greitai perjungti nuo šlifavimo prie poliravimo procesų, taip žymiai sutrumpinant procesų trukmę. Be to, šlifavimo diskas aprūpintas disko taisymo bloku, kad būtų užtikrintas gerą šlifavimo disko plokštumos lygumas.