Planetinis vieno taikinio magnetroninis dengimo įrenginys
Įvadas: Šis įrenginys yra stalinis planetinis vienotikslis magnetroninis dengimo įrenginys. Kamerų apatinė pusė yra iš nerūdijančiojo plieno, o viršutinė – iš aukštos kokybės kvartzo. Tai leidžia pasiekti tiek aukštą vakuumo našumą, tiek galimybę talpinti sudėtingas bandymų plokštes. Įrenginio išvaizda yra stalinė, todėl labai sumažėja reikalavimai įrengimo vietos dydžiui. Įrenginys aprūpintas nuolatinės srovės maitinimo šaltiniu ir gali būti naudojamas metalų bei kitų laidžių medžiagų sputeravimui. Įrenginio vakuumo sistema naudoja turbomolekulinį siurblį, kuris užtikrina greitą siurbimo našumą, aukštą galutinį vakuumo lygį ir puikią vakuumo charakteristiką. Šis įrenginys turi kompaktišką konstrukciją, visapusiškas funkcijas ir yra lengvas naudoti. Jis labai tinkamas įvairiems dengimo bandymams.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA











